LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修
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具體產(chǎn)品參數(shù)，價(jià)格請?jiān)儍r(jià)，請聯(lián)系張經(jīng)理
本公司主要經(jīng)營的品牌有：
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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修
萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。 尼康光刻機(jī) 提供NIKON備件（包含易耗件） 1，常用的馬達(dá) *ulhaber minimotor的173：1，30.7：1，41：1等 stage bellows chiba 主要用于wafer 2，常用的手臂 fetch load/unload arm 3，鹵素?zé)? 鹵素?zé)舭∟IKON和USHIO 4，LSA 5，NIKON其它各類備件，如電路板等 6，NIKON電路板維修（以壞換好）等 深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修 萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。 萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。 客戶得益 低溫泵的優(yōu)勢： - 所有氣體都有高抽速 - 對(duì)水汽有的抽速 對(duì)于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。 低溫泵的優(yōu)勢2： 與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機(jī)械活動(dòng) 部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至 ≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無烴真空 - 對(duì)外部振動(dòng)不敏感 其它優(yōu)點(diǎn)： - 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1） - 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵 - 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制 - 性價(jià)比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用 萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。 有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì)，請見以下示意圖的內(nèi)容。 一級(jí)冷頭（9）冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板（6）。 根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同，達(dá)到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。 熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。 另外，熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。 根據(jù)工作條件，達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)狻⒀鯕夂蜌鍤庠谶@里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。 COOLVAC制冷機(jī)低溫泵 COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設(shè)置，過壓150mbar（113托）時(shí)打開。 為了保證在安全閥動(dòng)作時(shí)，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。 低溫泵的再生 低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi)，飽和后必須泵排出。 具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。 非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體（例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。 多臺(tái)低溫泵組合操作 由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大，可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。 客戶得益 - 極大的降低投資和操作成本 - 占地面積小 萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵 低溫泵通過電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè) 被釋放： - 吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、 氦氣、氖氣） - 冷凝在冷傘上的氣體（例如氮?dú)狻?emsp; 氧氣、氬氣）
motor（YASKAWA motor）
motor
precision motor
loader，wafer stage各部位控制馬達(dá)
arm
HE-NE激光管，激光干涉計(jì)interferometer
真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。
2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。
3. 特殊低溫泵
萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵，如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細(xì)信息請和我們聯(lián)系。
典型應(yīng)用
- 蒸發(fā)器
- 濺射系統(tǒng)
- 離子注入機(jī)
- 光學(xué)鍍膜機(jī)
