測量重復(fù)性為±20nm;
低阿貝誤差;
對(duì)湍流和大氣壓強(qiáng)的變化不敏感;
分辨率可選20nm;
易于安裝;
柵格和探頭之間的間隙為12mm;
對(duì)準(zhǔn)誤差低;
可選真空版本;
完善技術(shù)支持,可定制;
標(biāo)準(zhǔn)的A-quad-B 輸出;
低成本的超精密XY計(jì)量系統(tǒng)。
高精度低成本的位置控制;
實(shí)時(shí)校準(zhǔn);
精密金剛石車削實(shí)驗(yàn)室;
鏡頭自動(dòng)對(duì)焦;
NG-B | |
系統(tǒng)性能 | |
重復(fù)性 | ±20nm |
精度(175mm×175mm)1 | ±200nm 滿量程 |
精度(380mm×380mm)1 | ±1.0um 滿量程 |
1(溫度變化±0.25℃) | |
速度2 | 1400mm/s |
2(V-MAX=[邊緣頻率] X [LSB]) | |
編碼器到探頭間距 | 12.0±0.1mm |
測量區(qū)域 | 40×45mm, 150×150mm |
工作溫度 | +10°C~+40°C |
存儲(chǔ)溫度 | –20°C~+70°C |
NG探頭 | |
外形尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm |
外殼材料 | 6061-T6鋁 |
光源(785nm) | Class IIIb,3mw,激光二極管 |
重量(不包括線纜) | 110g |
接口線纜 | 3m,15針接頭 |
雙軸POLARFLASH處理器(A-quad-B) | |
分辨率(可選) | LSB=5um÷2N;N=5,6,7,8; |
邊緣頻率(可選) | 1.25,2.5,5,10MHz |
數(shù)據(jù)傳輸時(shí)間 | <4us< span=""> |
輸出格式 | A-quad-B差分TTL/每根軸 |
外形尺寸 | 127mm X 84mm X 24mm |
輸出格式 | 32位并行字 |
供電 | +5DVC(±0.25V)@350mA |
NG編碼器 | |
間距(機(jī)械/光學(xué)) | 10 μm / 5μm |
鈉鈣膨脹系數(shù) | 7.0 × 10-6/°C |
石英(熔石英)膨脹系數(shù) | 0.7 × 10-6/°C |
如果想采用其他材料,請咨詢工廠 |
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