| 產品名稱：熱式氣體質量流量控制器 產品型號：S48 28/HMT S48-28/HMT |
可以任意角度安裝
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的抑制
- 化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
- 良好的選擇性
編號 項目 S48 28/HMT 1 流量規格 (100,150,200)L/min 2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 5%～99% 6 流量測量范圍 0～99% 7 響應時間 2s（T98，設定值的±2% F.S.） 8 工作環境溫度 5℃～50℃ 9 精度保證溫度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa 14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He） 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供電電源 ±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA+24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供電時)19 設定信號 (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量輸出信號 (0～5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8
| 產品名稱：熱式氣體質量流量控制器 貨 號：28590 產品型號：S48 28/HMT S48-28/HMT |
可以任意角度安裝
- 良好的線性——多段線性補償
- 快速的響應
- 電磁閥使用壽命≥100萬次
- 對零點漂移有效的抑制
- 化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
- 良好的選擇性
編號 項目 S48 28/HMT 1 流量規格 (100,150,200)L/min 2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 5%～99% 6 流量測量范圍 0～99% 7 響應時間 2s（T98，設定值的±2% F.S.） 8 工作環境溫度 5℃～50℃ 9 精度保證溫度 15℃～35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa 14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s （He） 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″18 供電電源 ±15VDC(±5%)
+15V，＜100mA；-15V，＜200mA+24VDC(寬電壓+11～+25V),
＜350mA(+24VDC供電時)19 設定信號 (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） 20 流量輸出信號 (0～5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8
