超聲霧化CVD管式爐(AACVD)
| 設備簡介: 本設備是一款氣溶膠輔助氣相沉積設備 - AACVD (使用液體/氣體的氣溶膠的前驅物成長在基底上),針對于燃料電池、ZnO透明導電薄膜。此款儀器有三個主要模塊組成:微小流量液體高精度傳輸系統、超聲霧化系統、1200℃管式爐組成。此種技術適合使用非揮發的前驅物,可廣泛應用于納米材料制備、電極材料包覆復合等方面。 | |||
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配置詳情
系統 | 1.液體流量控制系統:中間體高精度傳輸、微小流量液體高精度傳輸、流量范圍:0.04~36ml/min; 2.霧化裝置:配有一個2.4MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成液體顆粒,導入到管式爐中; | ||||
電氣規格 | AC220V 1.2KW | ||||
溫度 | 1200 °C (<1小時) | ||||
連續溫度 | 1100 °C (連續) | ||||
加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | ||||
加熱區長度 | 200mm | ||||
高精度蠕動泵 | | 1. 轉速范圍:0.1·100rpm正反轉可逆; 2. 速度分辨率:0.1rpm; 3. 調速方式:薄膜按鍵; 4. 顯示方式:4位LED顯示當前轉速或當前流量; 5. 加強PP材質,耐腐蝕; 6. 流速:0.04-36ml/min; 7. 設有全速鍵,實現快速排空、添加; 8. 具有掉電記憶功能,及時保存運行參數。 | |||
霧化器 | | 1.AC220V ,1.7MHz超聲霧化儀; 2.液體罐標配為聚四氟材質,耐腐蝕,并采用硅膠密封圈密封; 3.可通過控制氣體流量計實現霧化流出速度; 4.可實現連續運行霧化。 | |||
控制系統 | | 1.可預存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩; 2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷; 3.可另選配無線控制模塊,實現遠程操控; 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等 | |||
溫度精度 | +/- 1 °C | ||||
加熱元件 | | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | |||
流量控制 | | 標準配置有一個浮子流量計,流量計量程為 | |||
凈重 | 30KG | ||||
設備使用注意事項 | 1.設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2.設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(壓力),以防止壓力過大沖開密封法蘭; 3.高真空下使用時(10-3Pa),設備使用溫度不得超過800℃。 | ||||
服務支持 | 1年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈) |
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