1.1真空、氦氣雙光路 
1.2多樣品盤設計
1.3 X-Ray探測器
1.4多種規格測試光斑
1.5小細節大智慧
探測器：
●類型：X-123探測器（采用原裝風進口高性能電致冷半導體探測器）
● Be窗厚度：0.5mil
●晶體面積：25mm2
●分辨率：125eV
●信號處理系統DP5
X射線管：
● 電 壓 ：0~50kV
● 電流 ：2.0mA
● 功率 ：50W
● 靶 材 ：Mo
● Be窗厚度 ：0.5mm
● 使用壽命 ：大于2萬小時
高壓電源：
●輸出電壓：0~50kV
●燈絲電流：0~2mA
● 功率：50W
● 紋波系數：0.1%（p-p值）
●8小時穩定性：0.05%
攝像頭：
● 微焦距
●免驅動
● 500萬像素
準直器、濾光片：
● 快拆卸準直器、濾光片系統
●多種材質準直器
●光斑大小Φ0.7mm、Φ1.2mm、Φ3.0mm、Φ5.0mm
●多種濾光片、準直器組合，軟件自動切換
真空泵：
●雙級旋片式真空泵
●功率：400w
●抽吸速率：8m3/h
其他配件：
●進口高性能開關電源
●進口低噪聲、大風量風扇
●外形尺寸 ：470 mm x 560mm x 1030 mm （長x寬x高）
● 樣品倉尺寸 ：Φ188mm×88mm （直徑x高）
●儀器重量 ：95kg
●供電電源 ：AC220V/ 50Hz
●功率 ：1000W
●工作溫度 ：15-30℃
●相對濕度 ：≤85%，不結露
