ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
美國ALICAT 21V系列帶截止閥質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數字式質量流量控制器是專為需要緊密關閉應用而設計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態下其氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。應用案例
● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量
產品特色
數字化產品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：可優于0.5%
量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms(可調)
內置98種氣體
現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
性能指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”中氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM
量 程 比 200:1
顯示流量 102.4%FS
顯示屏 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-雙向滿量程
高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
閥門泄漏率 不超過1x10 atm scc/sec (He)
重復性 ± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm
響應時間 100ms（可調）預熱時間：<1s
標定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ℃
工作濕度：0-99%，無冷凝
標準工作壓力 1MPa 表壓
標準極限耐壓 1.2MPa 表壓
中壓選項 2MPa
數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流 250mA ～ 750mA
電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭
材質 316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍
鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE
安裝方式 對位置無要求 防護等級：IP40
* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們
