型號：ASR-VMS-6050
工作臺 X/Y軸行程 600MM*500MM
Z軸行程 有效空間235mm,調焦行程250mm，工作距離105mm
大理石臺面尺寸 650MM*550MM
玻璃臺面尺寸 450MM*350MM
傳動型式 傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導軌和中國臺灣進口滾珠螺桿
測量伺服驅動系統 光學尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）
測量精度：≤2.5UM+L/250 重復精度：≤2.5UM+L/250
機房散熱量計算：
保持機房內計算機系統操作于溫度、濕度空間，必須計算計算機房內總散熱量，其中包括機房內機器散熱量總和（燈光普通照明燈可忽略不計）
·人員散熱量：每人平均600BTY/小時
· 未來擴充的設備（略）
·機房空間散熱量：50BTY/平方英尺
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