| | 設(shè)備簡(jiǎn)介： 多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿(mǎn)足各類(lèi)薄膜沉積，在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。
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| | 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能*； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果*，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動(dòng)抬升系統(tǒng)開(kāi)啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)時(shí)加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無(wú)限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | |||||||||||||||
| 產(chǎn)品型號(hào) | 三溫區(qū) | 四溫區(qū) | 五溫區(qū) | 六溫區(qū) | ||||||||||||
| 爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | |||||||||||||||
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
| 加熱區(qū)選擇 (可定制） | 200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm | 200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm | 200mm*5 300mm*5
| 200mm*6 300mm*6
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| 升溫速率 | ≤20℃/min | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||
| 氣體系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 浮子或質(zhì)子 | |||||||||||||||
| 管道示意圖 | | | ||||||||||||||
| 進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | |||||||||||||||
| 流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | |||||||||||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
| 低真空系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 真空泵型號(hào) | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
| 抽氣速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
| 進(jìn)排氣口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
| 系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa） | |||||||||||||||
| 工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||||||||
| 高真空系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 真空泵型號(hào) | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||
| 真空測(cè)量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |||||||||||||||
| 系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||
| * 支持非標(biāo)定做，更多型號(hào)，歡迎來(lái)電垂詢(xún) | ||||||||||||||||
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