電感耦合等離子體發射光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來測定。在可見和近紫外實現這些測量沒有任何困難。測量通過一個單色儀的光通量，緊接著測量通過兩個單色儀的光通量，以這種方式來確定第二個單色儀的透射率。
測量需要知道單色儀的透射率：對于相對測量，以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當大的實驗困難，因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實驗步驟中已成功地避免了校準上的困難。
電感耦合等離子體發射光譜儀是以電感耦合等離子炬為激發光源的一類光譜分析方法，它是一種由原子發射光譜法衍生出來的新型分析技術。它能夠方便、快速、準確地測定水樣中的多種金屬元素和準金屬元素，且沒有顯著的基體效應。
1、下面來看看原理
等離子體發射光譜法可以同時測定樣品中的多元素的含量。當氬氣通過等離子體火炬時，經射頻發生器所產生的交變電磁場使其電離、加速并與其他氬原子碰撞。這種鏈鎖反應使更多的氬原子電離，形成原子、離子、電子的粒子混合氣體，即等離子體。不同元素的原子在激發或電離時可發射出特征光譜，所以等離子體發射光譜可用來定性測定樣品中存在的元素。特征光譜的強弱與樣品中原子濃度無關，與標準溶液進行比較，即可定量測定樣品中各元素的含量。
2、優點分享
與其他方法相比，該儀器具有以下幾個優點：
(1)分析速度快。干擾低、時間分布穩定、線性范圍寬，能夠一次同時讀出多種被測元素的特征光譜，同時對多種元素進行定量和定性分析。
(2)分析靈敏度高。直接攝譜儀測定，一般相對靈敏度為10-6級；靈敏度為10-3-10-9g。如果通過富集處理，相對靈敏度可達10-9級，靈敏度可達10-11g。
(3)分析準確度和精密度較高。是各種分析方法中干擾較小的一種，一般情況下其相對標準偏差≤10%，當分析物濃度超過100倍檢出*，相對標準偏差≤1%。
(4)測定范圍廣。可以測定幾乎所有紫外和可見光區的譜線，被測元素的范圍大，一次可以測定幾十個元素。
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