TOKYOKEISO東京計裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計

TOKYOKEISO東京計裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計

液體微小流量超聲波流量計UCUF-02M，SFC-010L，高溫液體用小口徑超聲波流量計UCUF-04MT，SFC-010T

產品介紹

UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計。高精度測量純水、超純水、各種化學品等的微小流量。測量管的直徑為 2.5 mm，涵蓋了傳統 UCUF 型超聲波流量計難以測量的廣泛微小流量范圍。所有接液部件均采用半導體行業用PFA制成，具有理想的清潔結構，沒有移動部件，也沒有容易積液的密封部件，非常適合半導體制造設備等要求高清潔度的工藝.流量計的入口和出口是標準尺寸的管子，可以連接到各種 PFA 接頭。

特征

小口徑
超聲波流量計成功地測量了內徑為φ2.5mm的管道中超聲波的傳播，而這種管道很難測量超聲波的傳播。

分鐘流量
最小滿量程設置范圍：0 至 10 mL/min

電磁兼容標準：EN61326-1

符合 RoHS 標準

測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體

具有理想清潔結構的探測器

耐腐蝕且易于安裝

準確度：示值的±1%以內（流速25mL/min以上時）

主要用途

半導體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設備和 CMP 設備的流量測量和控制

UCUF-04MT型高溫超聲波流量計是UCUF系列超聲波流量計的改進版本，在測量超純水和各種化學液體的小流量方面具有良好的記錄。所有接液部件均采用特級 PFA 模壓產品制成，沒有活動部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機械密封。由于其理想的清潔結構，該流量計非常適用于要求清潔度的過程，例如半導體制造設備。該轉換器是薄型 DIN 導軌安裝型。通過采用數字信號處理器（DSP）等電子技術，顯著降低了流體中氣泡的影響，這是半導體工藝、化學液體工藝等中的一個問題。此外，通過提高時間分辨率和加快信號處理速度，與傳統產品相比，低流量范圍內的測量穩定性得到了提高。

特征

節省能源和空間

SFC-010T 轉換器是傳統轉換器的纖薄版本。

高速計算

SFC-010T 具有 10 ms 的高速采樣處理。

大大提高了抗氣泡性

如果流體中含有氣泡，超聲波的傳播將受到阻礙，流量測量將無法進行。憑借豐富的現場經驗和DSP信號處理技術，我們成功地檢查了接收到的波形，檢測出氣泡的影響，將其排除在流量計算之外，消除了因氣泡影響導致的異常輸出。

符合標準

CE（符合 EMC 指令 IEC61326-1：2006）
符合 RoHS

探測器

兼容 180°C 的流體溫度。
可以測量高達 40.0 [mm2/s] 的高粘度流體。
具有理想清潔結構的檢測器。
耐腐蝕且易于安裝。

轉換器功能

零位檢查功能：通過在測量前執行零位檢查，可以在被測流體的條件下開始測量。
參數設置：各種參數可通過專用配置軟件進行設置。（另需RS-485通訊轉換器。）
流量顯示：配備7段紅色LED（4位）顯示器，顯示流量和狀態。

主要用途

半導體制造過程中的高溫化學液體流量測量

各種化學供液過程的流量測量（需要測量的化學液體請提前聯系我們）

分鐘流量測量