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SAMCO二手等離子刻蝕機(jī)RIE-300NR

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SAMCO等離子刻蝕機(jī)RIE-300NR是一種理想的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優(yōu)異的均勻性
SAMCO二手等離子刻蝕機(jī)RIE-300NR 產(chǎn)品詳情

SAMCO等離子刻蝕機(jī)RIE-300NR是一種理想的反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優(yōu)異的均勻性。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)旨在限度地減少工廠空間需求,提高產(chǎn)量,限度地延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間,并通過可靠的硬件和便捷的服務(wù)降低擁有成本。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

加工范圍:?350 mm (?3" x 12, ?4" x 8, ?12" x 1)

用戶友好的觸摸屏界面

全自動(dòng) "一鍵式 "操作,可手動(dòng)操作。

優(yōu)化的噴淋頭可提供工藝氣體的均勻性。

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自動(dòng)壓力控制,可精確控制工藝壓力,不受氣體流量影響。

干式泵和系統(tǒng)布局便于維護(hù)。

應(yīng)用

去除夾層膜,用于?300mm的失效分析。

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樹脂的蝕刻和脫膠

光阻劑的灰化、剝離和除塵。

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