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SAMCO二手等離子刻蝕機RIE-300NR

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  • 所在地
  • 更新時間2023-04-12
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
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SAMCO等離子刻蝕機RIE-300NR是一種理想的反應離子蝕刻系統,適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優異的均勻性
SAMCO二手等離子刻蝕機RIE-300NR 產品詳情

SAMCO等離子刻蝕機RIE-300NR是一種理想的反應離子蝕刻系統,適用于加工?300mm晶圓和多晶圓(?3"×12,?4"×8等),具有優異的均勻性。該系統的設計旨在限度地減少工廠空間需求,提高產量,限度地延長正常運行時間,并通過可靠的硬件和便捷的服務降低擁有成本。

主要特點和優點

加工范圍:?350 mm (?3" x 12, ?4" x 8, ?12" x 1)

用戶友好的觸摸屏界面

全自動 "一鍵式 "操作,可手動操作。

優化的噴淋頭可提供工藝氣體的均勻性。

減少停留時間的近距離耦合氣體輸送箱。

對稱的疏散設計與TMP相結合,形成了有效的流動。

自動壓力控制,可精確控制工藝壓力,不受氣體流量影響。

干式泵和系統布局便于維護。

應用

去除夾層膜,用于?300mm的失效分析。

蝕刻Si、SiO2、SiN和聚硅氧烷。

樹脂的蝕刻和脫膠

光阻劑的灰化、剝離和除塵。

表面改性(潤濕性和粘附性的改善

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關鍵詞:觸摸屏
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