RIE-200C是在擁有豐富交貨業績的CCP RIE系統 "RIE-10NR "的基礎上開發的量產型盒式裝載系統。該系統可對Si、Poly-Si、SiO?、SiN等各種硅薄膜進行高精度蝕刻和灰化。采用雙盒雙臂機械手,PLC控制全自動操作,高性能存儲工藝參數,實現了高產量。
主要特點和優點
大氣高速傳輸系統
該系統配備了一個大氣盒室和一個大氣傳輸機器人,而不是通常的裝載鎖定室。它可以處理?8 "晶圓的自動加工,并且可以安裝在兩個盒式箱中。
全自動操作
通過觸摸屏可實現全自動操作,通過PLC控制可實現過程管理和數據記錄。
應用
Si、Poly-Si、SiO?、SiN等各種硅薄膜的高精度蝕刻。
光阻劑的灰化、剝離、除塵
清除有機污染物