高真空排氣裝置TPS-50ZA佐藤真空SATOVAC
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高真空排氣裝置TPS-50ZA佐藤真空SATOVAC
高真空排氣裝置TPS-50ZA佐藤真空SATOVAC
高真空排氣裝置
本系統有渦輪分子泵和油擴散泵兩種類型，還準備了油旋轉和干泵作為輔助泵，是一種能夠根據客戶的需求進行選擇的高真空排氣系統。
*性:
支持高真空下的各種實驗、開發、生產過程。通過氣冷式不需要水管線，減輕保養負擔。不挑地方的100v電源。大型機基礎采用鋁，實現輕量化。追求易用性的緊湊設計。
渦輪分子泵排氣系統<TPS>類型
輔助泵與填充型干燥真空泵或滾動型干燥真空泵組合，可實現全干燥的排氣系統。啟動、停止所需時間短。出其不意的大氣導入也采用強構造的渦輪分子泵。故意重復大氣導入會造成故障。
油擴散泵排氣系統< DPS >類型
能夠以更低的成本獲得高真空氛圍。根據三方閥的切換功能，僅輔助泵的單獨排氣運轉也可能。保養檢查容易。
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渦輪分子泵烘烤后，泵頭值。
啟動時間是吸氣口關閉時的值。根據倉容量時間不同。
吸氣口關閉時的值。
作為輔助泵和主泵，有單獨的電源插頭(2個)。
配合客人的使用方便·規格，也制作各種可選零件的嵌入設置的特別定制版本。
