產品描述：
| 技術指標及規格 | ||||||||||||||||
| 測量范圍： X向行程：200㎜ 圓工作臺直徑：φ213㎜ Y向行程：100㎜ 平工作臺尺寸（㎜）：260×270 測角目鏡角度分劃范圍：360° 頂針間的夾緊長度：700㎜ 螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7° 頂針間能容納的直徑：φ100㎜ 圓工作臺角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架夾緊長度：200㎜ 圓分度頭角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架能容納的直徑：φ250㎜ 主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12° 干涉狹縫旋轉范圍：±90° 分度值：X、Y向分度值：0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值：30″ 測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值：1′ 輪廓目鏡角度分度值：±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′ 測量準確度（被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內溫度20℃±1℃）： (1+L/100)μm，其中L為測量長度，單位：㎜ 物鏡放大率，工作距離及視場直徑：
光學定位器的主要技術參數: 測桿垂直方向擺動范圍:±3° 定位變動性：＜1μm 孔徑大于5㎜時，可測孔的深度：≈15㎜ 測力（N）：0.1±0.03 測量范圍(㎜):5-200 儀器主機外形尺寸(㎜)長×寬×高=1300×1250×80 儀器主機重量：450㎏ |
