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FPTOR-ICPRIE ???????感應耦合反應離子刻蝕系統

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  • 型號FPTOR-ICPRIE
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-03-30
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1482
  • 人氣值9917
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最初的ICP反應器由石英管組成,射頻線圈纏繞在石英管周圍,以產生等離子體,從而產生各向異性蝕刻。感應耦合反應離子刻蝕系統ICPRIE有多種類型,其中一種重要類型是將電容耦合偏壓與樣品臺相結合,以實現電感耦合RF等離子體蝕刻特性的工藝控制。應用包括電介質材料的干蝕刻。
感應耦合反應離子刻蝕系統ICPRIE詳情請聯系我們索取。
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