主要特性與技術指標
廣泛的工作條件與精密測量功能相結合
- 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達 1500 A 和 10 kV
- 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
- μΩ 導通電阻測量功能
- 高電壓偏置時，可進行**的 sub-pA 電平電流測量
- 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內進行全自動熱測試
廣泛的器件測量功能
- 可在高達 3000 V 直流偏置時執行全自動電容測量（Ciss、Coss、Crss 等）
- 10 μs 高功率脈沖測量
- 封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測量
- 高電壓/強電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應表征
- 多達 5 個高電壓（3 kV）電源/測量通道，提供*大的靈活性
- 通過互鎖測試夾具執行安全的與溫度相關的測試
改進的測量效率
- 在高電壓和強電流測量之間自動切換，無需重新布線
- 自動測試電路形成，可用于封裝器件和晶圓上器件的晶體管結電容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）測量
- 具有互鎖機制的標準測試夾具，可進行封裝功率器件測試
- 支持高達 200 A 和 10 kV 的高功率晶圓上測試
- 示波器視圖支持對應用電壓和電流波形的驗證
- MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數據管理和分析流程
可升級和可擴展的硬件體系結構
- 廣泛的測量模塊選擇
- 支持具有高達 6 個連接引腳的高功率器件
描述
Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是能夠對 sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進行表征的綜合解決方案。這些功能能夠對*新的器件（例如 IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）進行測量。B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強電流 SMU（HCSMU）、電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機支持您對其進行配置，以滿足您的測量需求。
它還可以在高電壓偏置（高達 3000 V）時執行全自動電容測量，例如 Ciss、Coss 和 Crss，也可以輕松地測試高頻開關轉換器的另一個重要參數——柵極電荷。還支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內進行自動熱表征。
B1505A 軟件環境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統為基礎，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數（例如擊穿電壓）進行實時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優化應用于器件的電壓和電流。測量設置信息和數據可自動存儲到 B1505A 的內置硬盤，并復制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結果匯總之后，測量數據可輕松復制到工程報告中。
強大的測試夾具解決方案對于確保操作人員安全（由于生成的高電壓和強電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進行測試，而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實現。此外，測試夾具的內置互鎖機制可確保在測試器件過程中安全地應用高電壓和強電流。
是德可提供一個轉換套件，使現有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機轉換為 B1505A 主機。這使當前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴展現有儀器的電壓和電流測量功能。模塊選型指南
| 測量資源 | 所需模塊/擴展器 | 所需插槽數 | *大配置 | 主要技術指標 |
| 高功率 SMU（HPSMU） | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率 |
| 中等功率 SMU（MPSMU） | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率 |
| 強電流 SMU（HCSMU） | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
| 高電壓 SMU（HVSMU） | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流） |
| 中等電流 SMU（MCSMU） | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
| 多頻電容測量單元（MFCMU） | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭 |
| 高電壓中等電流單元（HVMCU） | M1266A HVSMU 電流擴展器、 B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 4 - 6 | 1 | ±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖） |
| 電流單元（UHCU） | N1265A 電流擴展器/夾具 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 2 - 4 | 1 | 1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率 |
| 超高電壓單元（UHVU） | N1268A 超高電壓擴展器 和兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖） |
*1. 使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器，當前的范圍可擴展至 40 A/20 V（脈沖）和 2 A/40 V（直流）。
