SEC-Z500X 質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造

• 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)
  該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。
• 高速響應(yīng)
  裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。可變 PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時(shí)優(yōu)化 PID 系數(shù)。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規(guī)格。一個(gè)重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質(zhì)量流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時(shí)間和成本。

HORIBA SEC-Z500X 質(zhì)量流量控制器適具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場(chǎng)更改氣體類型或滿量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點(diǎn)）、壓電閥、高速響應(yīng)和全金屬特性，可提高制程良率，簡(jiǎn)化零件管理。支持?jǐn)?shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。

• 高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)
  該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。
• 高速響應(yīng)
  裝配“可變 PID 系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。可變 PID 根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時(shí)優(yōu)化 PID 系數(shù)。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規(guī)格。一個(gè)重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質(zhì)量流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時(shí)間和成本。

主要特性
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-99% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行;

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；

SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

滿量程流量

外形尺寸

型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM屬于SEC-500X系列，多種氣體及多種流量范圍數(shù)字式質(zhì)量流量控制器