多氣體/多量程系統使用戶可以自由更改氣體類型或滿量程流量。
- 控制范圍廣，從微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
- 支持多種通信模式：數字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
- 高精度：+/- 1.0% 設定點 (*1)
- 1 秒高速響應（*1）
- 多氣體/多量程功能
日本HORIBA SEC-N100質量流量控制器
概要
質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造。
SEC-N100 系列支持多氣體/多量程系統使用戶可以自由更改氣體類型或滿量程流量。
- 控制范圍廣，從微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
- 支持多種通信模式：數字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
- 高精度：+/- 1.0% 設定點 (*1)
- 1 秒高速響應（*1）
- 多氣體/多量程功能
外形尺寸
