概要
高精度/快速響應(yīng)
多種通訊（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC設(shè)計
核心部件日本進(jìn)口
流量規(guī)格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、無需矯正可任意角度安裝。
概要
高精度/快速響應(yīng)
多種通訊（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC設(shè)計
核心部件日本進(jìn)口
流量規(guī)格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
技術(shù)參數(shù)
| 編號 | 項目 | S48 300/HMT |
| 1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
| 2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
| 4 | 安裝角度 | 任意 |
| 5 | 流量控制范圍 | 2%-99%F.S. |
| 6 | 流量測量范圍 | 0-99%F.S. |
| 7 | 響應(yīng)時間 | ≤ 1 sec |
| 8 | 工作環(huán)境溫度 | 5-50℃ |
| 9 | 精度保證溫度 | 15-35℃ |
| 10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
| 11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. |
| 12 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
| 13 | 工作壓差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
| 14 | 耐壓 | 3MPa(G) |
| 15 | 泄漏率 | ＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
| 16 | 接觸氣體材料 | 316L，Viton® 氟橡膠，PTFE |
| 17 | 管路接頭 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
| 18 | 供電電源 | ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
| 19 | 設(shè)定信號 | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ |
| 20 | 流量輸出信號 | 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA |
| 21 | 通訊接口 | 數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機，設(shè)備號可選范圍0-15 |
| 22 | 重量(kg) | 0.9 |
