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  • RGA系列殘余氣體分析儀

RGA系列殘余氣體分析儀

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  • 型號
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  • 所在地
  • 更新時間2025-02-21
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區深圳市
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  • 產品數量107
  • 人氣值2008
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RGA系列殘余氣體分析儀 產品詳情

100,200和300amu

優于1amu的分辨率

5*10e-14 Torr探測極限

含四極探頭,電子控制單元(ECU)

實時window視窗 軟件包,用于數據采集和分析,以及探針控制

RS232接口


SRS的殘余氣體分析儀提供的性能和價值。 這些RGA是同類產品中價格的一半。 每個RGA的系統有完成一個四極探頭,電子控制單元(ECU),以及實時window視窗 軟件包,用于數據采集和分析,以及探針控制。

堅固的探頭設計

探頭由一個離子發生器,四極桿質量過濾器和檢測器。 簡單的設計有一個小的部件數目減少氣體釋放,降低了您的真空系統中引入雜質的機會。 探頭大會崎嶇到一個標準的2.75英寸的CF卡法蘭坐騎。 它是覆蓋著不銹鋼管與電離化的要求只有2英寸半的清理您的真空系統的異常,大約是一個標準的離子規。 探頭設計采用自動調心,因此可以很容易地清洗后重新組裝零件。
緊湊型電子控制單元

用于控制的RGA頭所有必需的電子元件。 它是由外部+24 VDC的要么是(2.5)電源供應器或一個可選,內置電源模塊,插入交流電源插座的插頭。 LED指示燈,提供有關電子倍增器,長絲,電子系統和探頭狀態的即時反饋。 歐洲貨幣單位可以很容易地刪除從高溫bakeouts探頭。
的燈絲設計
長壽命,雙涂釷銥(芹苴2 / IR)的長絲用于電子發射。 雙壽2 /銥絲持續更長的時間比單絲,限度地更換燈絲之間的時間。 不像其他的設計,SRS的細絲可以取代在幾分鐘之內的用戶。

電子倍增器
法拉第杯探測器系統的標準與SRS RGA的,允許從10 -5分壓測量,以5 × 10 -11托。 為了提高靈敏度和更快的掃描速率,可選的電子倍增器是所提供的檢測分壓下降到5 × 10 -14托。 這個國家的的宏觀多通道連續打拿極電子倍增器(CDEM)提供了更高的壽命和穩定性,也可以由用戶一個個RGA更換!
實用功能

所有的RGA有一個內置的脫氣功能。 利用電子碰撞解吸,離子源是清洗,大大減少了靜電消除器的背景噪聲的貢獻。
一個固件驅動的燈絲保護功能的不斷監視(675赫茲)以上的壓力。 如果檢測到過壓,燈絲會立即關閉,保留其壽命。
一個的溫度補償,對數靜電檢測10 -15 -7到10安培的電流從一個單離子掃描精度優于2%。 這個巨大的動態范圍意味著你可以利用小型和大型氣體濃度測量同時進行。
完成可編程
與計算機通信是由通過RS-232接口。模擬和直方圖(條)掃描,泄漏檢測和探頭參數控制和監測都通過高層次的命令集。 這使得易于集成到現有的方案。
RGA的Windows軟件
支持的RGA系統與實時視窗 軟件運行在PC上。 直觀的圖形用戶界面允許測量,作出迅速和容易。 該方案是互動,讓用戶對圖形顯示的控制。 屏幕可以為雙模式操作分割,規模可以設置為線性或日志格式,數據可以手動或自動縮放。 數據捕獲和實時顯示或收購安排在長期測井資料給定的時間間隔。 其功能包括用戶可選的單位(托,毫巴,扒和A),可編程的音頻和視覺警報和全面的在線幫助。
該軟件還允許完成RGA的大規模調整,方便,靈敏度校準,電離設置和電子倍增器增益調節頭部控制。 進一步分析,數據文件可以以ASCII格式保存到電子表格更容易轉移。 圖形圖像可以被保存為元文件或復制到剪貼簿,直接導入到其他Windows 方案。 該軟件還提供了鎖定了頭參數,使普通用戶無法改變重要設置密碼保護。 一個LabVIEW的dirver也可在網站的SRS。 一個可選的獨立顯示器( PPM100 )可以用來控制電腦主機的RGA沒有。
多頭操作
該軟件支持多種操作時頭部多個RGA的需要。 多達八個歐洲貨幣單位,可以從軟件監控。
性能和價值
該家族是個RGA的SRS涉及氣體分析,泄漏檢測,真空處理應用的理想選擇。 我們提供,200和300,100RGA系統,支持Windows的軟件和選項,其中包括一個電子倍增器和一個內置電源模塊,AC線運行。

產品規格:
操作

質量范圍
RGA100 1 to 100 amu
RGA200 1 to 200 amu
RGA300 1 to 300 amu
質量濾波器類型 四極桿
探測器類型 法拉第杯(FC)—標準,電子倍增器 (EM)—可選
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height (per AVS std. 2.3).
靈敏度(A/Torr) 2 × 10-4 (FC), <200 (EM). User adjustable throughout high voltage range. Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
最小可檢測分壓 5 × 10-11 Torr (FC). 5 × 10-14 Torr (EM). Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy , 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
工作壓力 10-4 Torr to UHV (FC)
10-6 Torr to UHV (EM)
工作溫度 70 °C
焙烤溫度 300 °C (without ECU)
電離源
布局 Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization.
材料 SS304 構造
燈絲 Thoriated-iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up. Field replaceable.
電子能量 25 to 105 V, programmable
離子能量 8 or 12 V, programmable
聚焦電壓 0 to 150 V, programmable
電子發射電流 0 to 3.5 mA, programmable
一般
探頭尺寸 8.75" from flange face to top of ionizer
探頭直徑 2.0"
探頭法蘭尺寸 2.75" CF
最小管徑 1.375"
ECU尺寸 3.1" × 4.1" × 9.1" (WHD). Easily separated from the probe for bakeout.
LED指示燈 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-232 Busy, Error,Overpressur,ility ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口 RS-232C, baud with highlevel command set
軟件 Windows based application
電源要求 24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC line operation
重量 6 lbs.
保修 一年(由產品質量和工藝問題引起)

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