LGR大氣環(huán)境在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)適用于工業(yè)園區(qū)、廠界環(huán)境、大氣環(huán)境中的有毒氣體和痕量氣體的監(jiān)測(cè)。
LGR特征污染因子分析儀用于監(jiān)測(cè)H2S，NH 3，HCl，HF，HCN等特征污染因子。并可實(shí)現(xiàn)ppb級(jí)別精度的測(cè)量。即使在復(fù)雜的過(guò)程流中，分析儀也能在很寬的摩爾分?jǐn)?shù)范圍內(nèi)快速報(bào)告測(cè)量結(jié)果（干式和濕式）。
LGR分析儀利用LGR獲得第四代腔增強(qiáng)吸收技術(shù)—離軸積分腔輸出光譜技術(shù)（OA-ICOS）。較之傳統(tǒng)的腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)，離軸ICOS具備諸多優(yōu)勢(shì)：對(duì)校準(zhǔn)不敏感、測(cè)量時(shí)間大大縮短，以及不需要昂貴的復(fù)雜元件等。
特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
? 高分辨率吸收光譜，并實(shí)時(shí)顯示光譜圖。
? OA-ICOS的波長(zhǎng)范圍寬，覆蓋從紫外到中紅外波段。
? 一個(gè)腔體可以提供多達(dá)2個(gè)激光器用于多組分分析。
? 反應(yīng)速度快，實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)或更短的相應(yīng)時(shí)間。
? 性能優(yōu)異，測(cè)量精度可達(dá)ppb級(jí)別；
? 通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)可對(duì)儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
? 動(dòng)態(tài)范圍更廣OA-ICOS直接測(cè)量吸收光譜，而非僅測(cè)量光腔衰蕩時(shí)間。相比傳統(tǒng)CRDS技術(shù)，OA-ICOS在明顯更廣的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)呈現(xiàn)線性響應(yīng)（即針對(duì)某些氣體摩爾分?jǐn)?shù)達(dá)99%）。
? 更簡(jiǎn)單的維護(hù)，鏡片清理不需要專(zhuān)業(yè)的工具和實(shí)驗(yàn)室，不需要校準(zhǔn)光路，現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)<20分鐘。
技 術(shù) 參 數(shù) | ||
H2S與NH3分析儀 （H2S、NH3、CO2、H2O） | ||
NH3 | H2S | |
測(cè)量范圍 （3?，100秒） | 0~10000 ppb | 0~500 ppm |
工作范圍 | 0-200 ppm | 0-1000 ppm |
可重復(fù)性 /精度（1?） | <2 ppb（1s）， <0.9 ppb（10s） <0.3 ppb（100s） | <25 ppb（1s）， <10 ppb（10s）， <5 ppb（100s） |
響應(yīng)時(shí)間 | 3秒（帶外部N920真空泵） | |
HCl/HF分析儀 （HCl、HF、H2O） | ||
HCl | HF | |
測(cè)量范圍（3?，100秒） | 0~2000 ppb | 0~2000 ppb |
工作范圍 | 0-10 ppm | 0-10 ppm |
可重復(fù)性/精度（1?） | <0.4 ppb（1s）， <0.25 ppb（10s）， <0.1 ppb (100s | <0.1 ppb（1s）， <0.07 ppb（10s）， <0.05 ppb（100s） |
響應(yīng)時(shí)間 | 2秒（帶外部N920真空泵） | |
輸出端口 | 輸出端口： 數(shù)字（RS232）、模擬、以太網(wǎng)、USB | |
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 內(nèi)部硬盤(pán)（可選固態(tài)硬盤(pán)） | |
環(huán)境濕度 | 0~99% | |
工作溫度 | 0~ 50 °C | |
出入口接頭 | ?英寸、?英寸和?英寸SWAGELOK® | |
電源要求 | 115/230 VAC，50/60 Hz | |
重量： | 29千克（標(biāo)準(zhǔn)型）/40千克（增強(qiáng)型） | |
應(yīng)用范圍
? 探測(cè)泄漏以保護(hù)個(gè)人安全
? 監(jiān)控空氣中污染物
? 監(jiān)視前開(kāi)式標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒(FOUP)和氣相沉積容器
? 監(jiān)管兼容的 HCI 排放和煙氣監(jiān)控
美國(guó)ABB/LGR
