Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。測(cè)量單位可以是 Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是 15VDC，輸出 0~10VDC或 0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無(wú)關(guān)。
電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過(guò)濾等技術(shù)，Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel? 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測(cè)量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。
Model 760 中高精度的壓力傳感元件 VactronTM pressure sensor，是在 Setra 技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來(lái)的。在敏感元件有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被 Setra的集成電路檢測(cè)并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號(hào)，該集成電路是根據(jù)西特技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。
Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。
■ 出眾的 EMI/RFI 性能
■ 耐腐蝕的 Inconel 設(shè)計(jì)
■ 出色的熱穩(wěn)定性
特性
· 高精度：標(biāo)準(zhǔn) ±0.25% of Reading ，可選 ±0.15%
· 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
· 多種壓力連接和電氣連接方式
· 符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)
應(yīng)用
· 半導(dǎo)體過(guò)程工具和設(shè)備 · 實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā) · 實(shí)驗(yàn)和測(cè)量 · 度量 · 分析化學(xué)系統(tǒng)
注：Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標(biāo)定源于 NIST。
