KEYSIGHT吉時利5位半6517B靜電計/高阻表
關鍵詞：靜電計，高阻表，電荷，電阻率，電阻
KEYSIGHT吉時利5位半6517B靜電計/高阻表提供的精度和靈敏度指標高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測量高阻和絕緣材料電阻率變得簡單。6517B具有425讀數/秒的測試速率，比同類型的靜電計快很多，可以提供快速、簡易的弱電流測量能力測量弱電流。出眾的性能指標半機架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于接近理想的電路負載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標確保物理、光學、測量范圍寬
6517B主要應用領域：
1、非常適合物理、光學、納米技術和材料科學等研究領域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量。
2、其極低的電壓降非常適合太陽能電池測量，其內置電壓源和低電流靈敏度使之成為基于聚合物的納米線等高阻測量的出眾解決方案。
3、其高速和易用性使之成為質量控制、產品工程和生產測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應用的選擇。
4、利用6517B型靜電計/高阻表的電壓反轉方法，可以大幅改進對絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。
5、還非常適合電化學應用，如離子選擇性電極和pH測量、電導電池和電勢測定。
6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿
量程及主要技術參數：
• 電流測量范圍：1fA - 20mA
• 電壓測量范圍：10μV - 200V
• 電阻測量范圍：50Ω - 1016Ω
• 電荷測量范圍：10fC - 2μC
• 電阻測量可達1016 Ω
• 電流測量范圍1fA - 20mA
• 最小電流量程輸入端壓降<20µV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測試速率高達 425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內置±1kV電壓源
• 高電阻測量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡
改進的高靈敏度測量
許多測試應用要求測量高級別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統測
量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V
/I)計算其電阻。雖然高阻材料和器件產生很小的電流，很難準確進行測量，但利用
吉時利靜電計和皮安計則可以成功地進行這種測量。
.
即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進行準確測量較為
困難。由于壓電效應、電容效應和偏振效應，絕緣材料、聚合物和塑料通
常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產生的電流。
在這些情況下，其測量結果往往是不穩定的，生成不準確的電阻或電阻率
讀數甚至錯誤的負值。吉時利 6517B型靜電計/高阻表旨在解決這些問題，
并為各種材料和元件提供一致、可重復和精準的測量，特別是與8009型電
阻測試夾具一起使用時。
變換極性法
6517B型靜電計/高阻表使用變換電極法，實際上消除了樣本的背景電
流。并剔除背景電流的級和第二級漂移。變換電極法施加一個正極性
電壓，然后在延遲（測量時間）后測量電流。接著，改變電壓極性，
使用相同的延遲，重新測量電流。連續重復這個過程，并根據4個電
流測量結果的加權平均值計算出電阻。對大多數材料來說，通過7次反轉(即
舍棄前三個讀數)，這個方法通常生成可高度重復、準確的電阻（或電阻
率）測量結果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復度，可對1mm厚
的1014Ω-cm材料樣本進行測量，在15秒測試周期內其背景電流低于200fA
