測量H2、Ar、He氣體濃度的熱導式氣體分析儀
特點
清晰易見的大形LCD顯示。
可與計算機通信。
小型的面板安裝結構。
零點、滿量程點的自動校正功能(選配件)。
可對其它氣體的干涉影響進行補償運算(選配件)。
氣體濃度報警輸出(選配件)
可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項。量程切換(選配件)
通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。量程比：測量H2、He 為1:10 測量Ar、CH4、CO2 為1:5。測量輸出信號的線性化(選配件)
用途
半導體裝置的H2氣體濃度測量
氫氣發生裝置的H2氣體濃度測量
燒結爐的H2氣體濃度測量
煤氣發生設備的Ar、He、CH4濃度測量
超導裝置的He氣體濃度測量
空氣分離設備的Ar氣體濃度測量
測量原理
| 熱導式氣體分析儀是利用2種組分氣體不同的熱導率來測量氣體濃度。檢測器內部有參比室和測量室，內部分別張緊著細鉑絲。參比室內密封著參比(基準)氣體。鉑絲與外部定值電阻組合，形成電橋回路，恒定電流分別流過各鉑絲，使之發熱。被測組分中若濃度有變化，則試樣氣體的熱導率會隨之變動，從而使測量室鉑絲的溫度發生變化。將這種溫度變化以電阻值變化的形式取出，就可以計算出被測氣體的濃度。 |
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