【產品應用】
掃描電鏡廣泛用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領域,進行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
【技術參數】
分辨率:0.8nm@30kV STEM 、0.8nm @15 kV 、1.4 nm @1kV
放大倍數:10-1,000,000×
加速電壓:調整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實現)
探針電流: 3pA~20nA(100nA選配) 穩定性優于 0.2%/h
低真空范圍:2-133Pa(Sigma 500VP可用)
樣品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
樣品臺:5軸優中心全自動 X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-4°-70° R=360°
系統控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系統,可選鼠標、鍵盤、控制面板控制
存儲分辨率:32k x 24k pixels