概述
nEXT85型分子泵是成熟產品EXT75DX型分子泵的升級產品，技術性能進一步提升，外形進一步簡潔美觀。
渦輪重新整體設計，以達到優化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能達到更高轉速，又能實現更高壓縮比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服務擴大了nEXT分子泵的應用范圍，實現了智能安裝、現場服務，成為真正的領*產品。
性能特點
? 性能*，技術領*
? 型號眾多，易于用戶選擇
? 采用Edwards渦輪溫度直接測量技術，極大提高工作安全性能
? 前級接口和級間接口可根據用戶需求選擇（NW40、ISO63、CF63、ISO100）或定制
? 用戶可自行更換軸承和油盒
? CMSD技術使得震動水平更低
? 智能化，通過USB口和Edwards nST軟件可實現對泵的監測、
技術指標
nEXT85 D | nEXT85 H | ||||||||||||
入口法蘭 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | |||||
抽速 （l/s） | N2 | 47 | 84 | 86 | 47 | 84 | 86 | ||||||
He | 61 | 78 | 80 | 61 | 78 | 78 | |||||||
H2 | 49 | 60 | 60 | 49 | 54 | 54 | |||||||
Ar | 44 | 80 | 84 | 44 | 80 | 84 | |||||||
壓 縮 比 | N2 | >1011 | |||||||||||
He | 8×106 | 2×107 | |||||||||||
H2 | 2×105 | 5×105 | |||||||||||
Ar | >1011 | ||||||||||||
極限真空（mbar） | ISO：<5×10-9，CF：<5×10-10 | ||||||||||||
出口法蘭 | KF16 | ||||||||||||
放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | ||||||||||||
質量（kg） | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | |||||
前級真空要求 （mbar） | N2 | 19 | 21 | ||||||||||
He | 19 | 21 | |||||||||||
H2 | 30 | 30 | |||||||||||
Ar | 22 | 21 | |||||||||||
*大連續入口流量（N2） | 42sccm[水冷（水溫15°C，環境溫度40°C）]，60sccm[空冷（環境溫度20°C）] | ||||||||||||
推薦前級泵 | nXDS15i | 入口*高溫度 | 120°C | ||||||||||
工作姿態 | 垂直、水平（±2°） | 工作轉速 | 90000rpm | ||||||||||
90%轉速啟動時間 | 80W：130s，120W：90 s | 冷卻方式 | 空冷/水冷 | ||||||||||
噪聲（1m處） | <34dB(A)±2.5 | *大耐受磁場 | 3.5mT | ||||||||||
電源 | 24V~48V DC | 模擬輸出電壓 | 0V~10V DC | ||||||||||
工作溫度范圍 | 5°C ~40°C | 工作濕度范圍 | 10% ~90%RH | ||||||||||
儲存溫度范圍 | -30°C ~70°C | 工作*高海拔 | 2000m | ||||||||||
