用于 1 sccm 到 100 slm 流量的層流元件
molbloc-L 是與 molbox 質量流量終端結合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內,是活塞與結合緊密的汽缸體之間的縱向環形間隙。通過調整這個間隙的尺寸,可獲得不同的 molbloc 量程。對于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機體。
特性一覽
- 可與現有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質量流量終端以及 COMPASS 軟件結合使用
- 整合了過濾器,可保護其免受污染
- 完整的氣體溫度調節和測量
- 連續、實時的讀數
- 可以實現全自動
- 無活動部件
molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相對于標稱流量阻抗的數字。在 250 kPa 絕壓 (36 psia) 上游壓力和 50 kPa (7.5 psid) 壓力差的情況下,當氮氣流經 molbloc 時,標稱阻抗可產生標稱流量量程。在實踐中,molbloc 流量量程可能與標稱流量量程差別很大。這些差別來自氣體之間的密度和粘性之間的差別,也來自不同的 molbloc 工作壓力校準選項。
技術指標 - 標準 molbloc-L 校準 - 與 molbox1+ 終端結合使用 | |
測量更新速率 | 1 秒 |
范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型(請參閱第 1.2.5.1.3 節) |
分辨率 | 0.0015 % FS |
線性 | ±0.05% 讀數,從 10% 到 99% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
重復性 | ±0.05% 讀數,從 10% 到 99% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
精確度1 | ±0.07% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.007% FS |
穩定度2 (1 年期) | ±0.09% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.009% FS |
測量不確定度3 | ±0.2% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.02% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準時使用的任意氣體) | 1E5 molbloc ±0.5% 讀數,從 25% 到 99% FS ±0.125% FS,在 25% FS 以下 |
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復性。 2 穩定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環境下使用時特定時間段內從零到范圍值的變化情況。由于穩定度只能是一種預測,因此應該根據經驗建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩定度。 3 測量不確定度(精確度):molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的偏差,包括精確度、穩定度和福祿克公司計量校準部的標準測量不確定度。 |
技術指標 - 特級 molbloc-L 校準 - 與 molbox1+ 終端結合使用 | |
測量更新速率 | 1 秒 |
范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準類型(請參閱第 1.2.5.1.2 節) |
分辨率 | 0.0015 % FS |
線性 | ±0.05% 讀數,從 10% 到 99% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
重復性 | ±0.05% 讀數,從 10% 到 99% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
精確度1 | ±0.07% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.007% FS |
穩定度2 (1 年期) | ±0.03% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.003% FS |
測量不確定度3 | ±0.125% 讀數,從 10% 到 99% FS 10% FS 下為 ±0.0125% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準時使用的任意氣體) | 1E5 molbloc-L 特級校準不可用 |
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復性。 2 穩定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環境下使用時特定時間段內從零到范圍值的變化情況。由于穩定度只能是一種預測,因此應該根據經驗建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩定度。 3 測量不確定度(精確度):molbox1+ 流量指示相對于通過 molbloc 的流量真值的偏差,包括精確度、穩定度和福祿克公司計量校準部的標準測量不確定度。 |
技術指標 - 標準 molbloc-L 校準 - 與 molbox RFM 終端結合使用 | |
molbloc-L(量程從 1E1-L 到 3E4-L) | |
測量更新速率 | 1 秒 |
范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準類型(請參閱 molbloc-L 量程表) |
分辨率 | 0.01% FS |
線性 | ±0.23% 讀數,從 10% 到 99% FS;±0.023% FS,在 10% FS 以下 |
重復性 | ±0.1% 讀數,從 10% 到 99% FS;±0.01% FS,在 10% FS 以下 |
精確度1 | ±0.25% 讀數,從 10% 到 99% FS;±0.025% FS,在 10% FS 以下 |
預測的穩定度2 (一年期) | ±0.15% 讀數,從 10% 到 99% FS;±0.015% FS,在 10% FS 以下 |
測量不確定度3 | ±0.5% 讀數,從 10% 到 99% FS;±0.05% FS,在 10% FS 以下 |
具有微量程選項的 molbox RFM | ||
molbloc-L(量程從 1E1-L 到 3E4-L) | molbloc-L(量程僅僅是 1E5) | |
測量更新速率 | 1 秒 | 1 秒 |
范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準類型(請參閱 molbloc-L 表) | 從 0 到 molbloc 滿刻度,取決于氣體和 molbloc 壓力,取決于校準類型(請參閱 molbloc-L 表) |
分辨率 | 0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下 | 0.01% FS |
線性 | ±0.23% 讀數,從 1% 到 99% FS ±0.0023% FS,在 1% FS 以下 | ±0.25% 讀數,從 5% 到 99% FS;±0.0125% FS,在 5% FS 以下 |
重復性 | ±0.1% 讀數,從 1% 到 99% FS;±0.001% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 讀數,從 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
精確度1 | ±0.25% 讀數,從 1% 到 99% FS;±0.0025% FS,在 1% FS 以下 | ±0.32% 讀數,從 5% 到 99% FS;±0.016% FS,在 5% FS 以下 |
預測的穩定度2 (一年期) | ±0.15% 讀數,從 1% 到 99% FS;±0.0015% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 讀數,從 5% 到 99% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
測量不確定度3 | ±0.5% 讀數,從 1% 到 99% FS;±0.005% FS,在 1% FS 以下 | ±0.5% 讀數,從 5% 到 99% FS;±0.025% FS,在 5% FS 以下 |