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Horiba射頻輝光放電光譜儀GD-Profiler 2

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現(xiàn)在,大多數(shù)的材料都是多層結(jié)構(gòu),比如太陽(yáng)能光伏電池、LED、硬盤、鋰電池電極、鍍層玻璃等
Horiba射頻輝光放電光譜儀GD-Profiler 2 產(chǎn)品詳情

現(xiàn)在,大多數(shù)的材料都是多層結(jié)構(gòu),比如太陽(yáng)能光伏電池、LED、硬盤、鋰電池電極、鍍層玻璃等。它們表面經(jīng)過(guò)特殊處理或采用了鍍層來(lái)改善材料性能,如提高耐腐蝕能力。

脈沖式射頻輝光放電光譜儀是一款用于鍍層材料研究、過(guò)程加工和控制的理想分析工具。它可對(duì)薄/厚膜、導(dǎo)體/非導(dǎo)體進(jìn)行超快速元素深度剖析,并且對(duì)所有的元素都有高的靈敏度。

顧名思義,該技術(shù)結(jié)合了脈沖式射頻供電的輝光放電源和高靈敏度的發(fā)射光譜儀。前者具有高深度分辨率,可對(duì)樣品分析區(qū)域進(jìn)行一層層剝蝕;后者可助您實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有感興趣的元素。

GD-Profiler 2的射頻輝光放電光源設(shè)計(jì),使其既可以測(cè)試導(dǎo)體、非導(dǎo)體及導(dǎo)體/非導(dǎo)體相間的鍍層樣品;既可以實(shí)現(xiàn)表面、深度剖析,也可實(shí)現(xiàn)基體成分分析。

國(guó)際認(rèn)可技術(shù)

輝光放電光譜技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域展現(xiàn)了強(qiáng)大的活力,如ISO/TC 201已為表面分析發(fā)布3個(gè)GDS國(guó)際標(biāo)準(zhǔn);市面上已出版了5本相關(guān)參考書,并且每年發(fā)表60篇以上含有GDS數(shù)據(jù)的科技論文。

快速、高深度分辨率

脈沖式射頻輝光放電光譜儀典型的剝蝕速率為微米/分鐘(即:2-10nm/s),可快速測(cè)試多個(gè)樣本,反饋及時(shí)。該特點(diǎn)使其可用于優(yōu)化和控制蒸發(fā)的每個(gè)階段(沉積或退火過(guò)程),并快速應(yīng)對(duì)任何觀察到的變化。的脈沖式射頻輝光源和超快速檢測(cè)能力的光學(xué)系統(tǒng),使脈沖式射頻輝光放電光譜儀具有了納米級(jí)甚至亞納米級(jí)的深度分辨率。

適用于所有元素

高靈敏度和超快速光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)使其可以同時(shí)檢測(cè)所有感興趣元素的深度分布;發(fā)射譜線范圍從VUVH和同位素D的譜線在120nm附近,O130nm等)到IR的鋰(670nm)和鉀(766nm)。

/厚膜的定量深度剖析

表面靈敏技術(shù)(XPSSIMS)分析速度很慢并且僅能分析1微米以內(nèi)的鍍層。對(duì)于較厚的鍍層,雖然可以使用SEM EDX測(cè)試橫截面,但需要繁復(fù)的樣品制備而且不能測(cè)試輕元素。脈沖式射頻輝光放電光譜可快速濺射十幾微米以測(cè)試所有元素,薄/厚膜均適用。

具備性能的脈沖式射頻源結(jié)合發(fā)射光譜儀可使基體效應(yīng)最小化。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)曲線,可將測(cè)試所得的定性曲線(強(qiáng)度vs.時(shí)間)轉(zhuǎn)化為定量深度曲線(濃度vs.深度)非常方便。


    特點(diǎn):

● 分析時(shí)間短,比需要超高真空環(huán)境的經(jīng)典表面分析技術(shù)快1000倍。

● 非導(dǎo)體非常容易分析,無(wú)表面電荷效應(yīng)。

● 同時(shí)測(cè)定所有元素,包括HCNOFLi等。

● 納米級(jí)深度分辨率。

● GDS可與那些提供成像、橫向分辨率或分子信息的技術(shù)互補(bǔ)分析。


     
標(biāo)準(zhǔn)配置:

激發(fā)源:頻率為13.56MHz的射頻水冷式固態(tài)發(fā)生器,可以在RF、脈沖RF或是VDC下運(yùn)行

功率:150W

光譜范圍:120nm ~ 800nm

光譜儀恒溫系統(tǒng):(31±0.1℃);焦長(zhǎng)0.5m2400gr/mm光柵

光譜分辨率:18pm~25pm

深度分辨率:1nm

元素通道:47個(gè)

檢測(cè)器線性動(dòng)態(tài)范圍:5×109

真空泵真空度可達(dá):5×10E-4

軟件:Quantum

計(jì)算機(jī):Windows 7, Dell 1070 MT (根據(jù)計(jì)算機(jī)水平更新)


     可選配置:

單色儀:焦長(zhǎng)0.64m2400gr/mm160nm~800nm)或3600gr/mm160nm~560nm

平場(chǎng)多色儀:焦長(zhǎng)0.2m1200gr/mm光柵

銅陽(yáng)極:標(biāo)準(zhǔn)直徑為4mm1mm2mm7mm8mm可選

DIP深度測(cè)試:附件適用于鏡面平整的樣品


     設(shè)備需求:

尺寸:150 X 86 X 125 cm(長(zhǎng) X X 高)

重量:350 Kg

電源:230V +/-10%的單相電,頻率為50/60Hz

環(huán)境:濕度:20~80%; 溫度:18~24℃(±2℃)

氬氣(等離子體):純度>99.999%,壓力4 bar

氮?dú)猓ù祾吖庾V室):純度>99.995%,流速3L/min

壓縮空氣壓力:6 bar

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