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  • 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

FE-5000/5000S 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號FE-5000/5000S
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-09-27
  • 廠商性質其他
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量11
  • 人氣值160
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廣州市固潤光電科技有限公司是一家成立于2011年從事光電子高科技產品研發、生產及銷售的,2017年通過,主要面向國內外光電子企業以及國內各高校、科研院所提供優質的產品和專業的項目服務。產品種類涉及各種工業和通信光電子器件,顯示器亮度色度及均勻性測試儀,LED燈、室內外照明測試儀器,JUST標準光源、燈箱,射頻測試儀,超快脈沖激光測試儀,半導體生產及檢測設備,主動消磁設備,主/被動隔振設備,太赫茲源,太赫茲光譜儀等。涉及工業自動化,信息自動化,光電子、光纖通訊、光纖傳感,工業激光、微電子和雷達與微波通信等領域。 我司堅持"誠信為本,創新為先"的企業精神,深化技術創新,不斷超越,注重團隊建設,努力把公司建設成為國際的光電子產品提供企業。 固潤光電以技術為軸心導向,通過與國內外廠商合作,積極開拓光電子領域市場,已經取得廣大客戶的充分認可。我司有一支以碩士為核心的研發隊伍, 引進、改造的技術,為國內的企業與科研單位提供國際技術的“固潤”方案。 自成立以來,我司已取得了多項,我司緊緊依靠科技創新、自主研發、技術進步推動企業可持續發展,不斷提升產品的科技含量、附加值和。我司設置有專門的產品技術研究中心,擁有一支高素質的技術研發團隊以及*的儀器設備,保持對行業產品的高度敏銳度和觀察力,穩步推進光電產品的開發創新,不斷提升企業的核心競爭力和持續發展的能力。 我司將更加重視技術創新,服務創新、管理創新,依靠*、規范經營、科學化管理提高企業抗風險能力,從而進一步提升企業市場核心競爭力,打造固潤新輝煌。
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橢圓偏振法測量當線性偏振光照射到樣品時反射光(橢圓偏振)時偏振的變化。 當s和p波根據樣本分別改變其相位和反射幅度時,可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ”和相位差“cosΔ”。 tanψ,cosΔ稱為“橢圓參數”,其光譜通過“光譜橢偏儀”進行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統外,自動角度調節機構還可以針對各種厚度進行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速......
嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 產品詳情

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 產品描述:

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 是測量當線性偏振光照射到樣品時反射光(橢圓偏振)時偏振的變化。當s和p波根據樣本分別改變其相位和反射幅度時,可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ”和相位差“cosΔ”。 tanψ,cosΔ稱為“橢圓參數”,其光譜通過“光譜橢偏儀”進行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統外,自動角度調節機構還可以針對各種厚度進行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速器和旋轉分析儀還拓寬了可供測量的選擇范圍,并提高了測量精度。測量范圍包括:橢圓參數(tanψ,cosΔ),光學常數分析(和:折射率,k:消光系數),厚度分析。

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀

產品亮點:

  • 橢圓光度法測量可見光和紫外線范圍(250-800nm)
  • 納米級薄膜厚度
  • 使用多通道光譜儀(超過400ch)進行快速測量
  • 角度可調機構進行詳細分析
  • 通過光學常數數據庫和配方注冊功能實現高度可操作性
  • 使用多層擬合分析進行光學常數測量,以控制膜厚度和膜性能

應用范圍

  • 半導體晶圓(柵氧化薄膜,氮化膜 SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,多晶硅,ZnSe,BPSG,TiN 每種波長下抗蝕劑的光學常數)
  • 復合半導體(AlxGa(1-x)As多層膜,非晶硅)
  • FPD(平板顯示器)(定向膜 ITO,MgO用于等離子顯示器)
  • 新材料(DLC(類金剛石),超導薄膜,磁頭薄膜)
  • 光學薄膜(TiO2,SiO2,多層膜,減反射膜,反射膜)
  • 平版印刷(g射線(436nm),h射線(405nm),i射線(365nm),KrF(248nm)的光學常數 每種波長下抗蝕劑的光學常數)

技術參數:

  • 測量樣品:反光樣品
  • 樣品尺寸:100x100mm
  • 基本原理:旋轉分析儀方法
  • 膜厚范圍:0.1 nm
  • 照射(反射)角度:45~90°
  • 照射(反射)角驅動方式:自動正弦驅動
  • 點徑:φ2.0/1.2
  • tanψ精度:< ±0.01
  • cosΔ精度:< ±0.01
  • 可重復性:< 0.01%
  • 波長范圍:300-800nm/250-800 nm
  • 探測器:多色儀(PDA, CCD)
  • 光源:高穩定性氙氣燈
  • 平臺驅動方式:手動/自動
  • 尺寸:650(W)×400(D)×560(H)mm/1300(W)×900(D)×1750(H)mm
  • 重量:50kg/350kg
  • 軟件分析:最小二乘薄膜分析(反射系數模型函數,Cauchy色散模型,nk-Cauchy色散模型)
  • 理論分析(體表面分析(n.k.),角度相關性的同時分析

測量案例:

使用梯度模型進行ITO結構分析—應用FE0006。ITO(銦錫氧化物)是用于LCD顯示器等平面顯示器的透明電極材料。 ITO的成膜后,通過退火處理(熱處理),可以提高ITO的導電性和色相。 那時,ITO的氧狀態和結晶狀態將發生變化。 該變化趨于相對于膜厚度逐步獲得斜率變化,并且它不會變成光學組成均一的單層。 我們想介紹一種使用梯度模型來測量上下表面nk的傾斜度的情況。

嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 一 嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 二

標簽:膜厚測試儀
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