Aerotech ABRS-ABRT精密氣浮轉臺

1.Aerotech ABRS/ABRT精密氣浮轉臺概述

Aerotech 制造了龐大的精密旋轉平臺產品線供您選擇，型號包括使用我們自己的內置無刷旋轉伺服電機驅動的直驅轉臺，以及蝸輪蝸桿驅動的定位轉臺。

其中精密直驅轉臺包括精密空氣(氣浮)軸承直驅轉臺和精密機械軸承直驅轉臺。轉臺具有許多不同尺寸的通孔直徑、臺面直徑以及安裝選項，為您的工業自動化應用提供理想的解決方案。

平臺的擺動、跳動、角度定位和速度穩定性都非常出色。

Aerotech 的定位平臺非常適合用于工業機器人、光纖光學和光子學、視覺系統、機床、裝配、半導體設備、醫護部件激光加工、超精密微細加工、硅片檢查、電子制造業、hang空電子設備等性能高應用以及其他工業自動化應用。

此外， Aerotech 制造的性能高驅動器和控制器可與我們的直驅旋轉平臺匹配，為您提供*的運動控制解決方案。

分辨率可達 0.027-5.5 arc-sec

雙向重復性小于 1 arc-sec

定位精度可達 ±2 arc-sec

ABRT-400空氣軸承精密直驅轉臺 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅轉臺

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉裝置校準系統的中心。ABRT-400 是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結構的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉的接頭和滑環以通過真空或空氣，并且實現電氣連接到被測裝置。

ABRT-400 可以用作高精度測量設備的標準角度標定，X射線衍射，蛋白質晶體或高精度加工應用。

Rotary Stage | ABRT-400精密氣浮直驅轉臺

ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋轉裝置校準系統的中心。ABRT-400 是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結構的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉的接頭和滑環以通過真空或空氣，并且實現電氣連接到被測裝置。

ABRT-400 可以用作高精度測量設備的標準角度標定，X射線衍射，蛋白質晶體或高精度加工應用。

特點規格

● 精度： < 0.6微弧度（ < 0.12弧秒）

● zui小增量步距： 0.035微弧度（ 0.007弧秒）

● 重復性： < 0.4微弧度（ < 0.08弧秒）

● 軸向運動誤差： < 50納米同步; < 10納米異步

● 徑向運動誤差： < 75納米同步; < 10納米異步

空氣軸承旋轉主軸

ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉裝置校準系統的中心。ABRT-400是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結構的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉的接頭和滑環以通過真空或空氣，并且實現電氣連接到被測裝置。

ABRT-400可以用作高精度測量設備的標準角度標定，X射線衍射，蛋白質結晶或高精度加工應用。

ABRS系列空氣軸承精密直驅轉臺 | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密氣浮直驅轉臺

Aerotech 的 ABRS 系列旋轉空氣軸承平臺提供*的角度定位，速度穩定性和低運動誤差性能在一個非常低矮的封裝結構中。ABRS旨在滿足晶片檢查，高精度計量，X射線衍射系統，光學檢查和制造，以及微機電系統/納米器件的制造等應用的嚴苛要求。

Aerotech ABRS系列空氣軸承精密直驅轉臺提供出色的角度定位，速度穩定性運動性能，并且擁有非常低矮的外形。

● 直驅無刷無槽伺服電機

● 非機械接觸

● 零齒槽效應電機帶來顯著的速度穩定性

● 顯著的無抖動運動特性

● 直接耦合的高精度編碼器

● 扁平設計的低矮外形

● 直徑：128.1-278.1 mm

● 分辨率： 0.036-0.18 arc-sec

● 雙向重復性：< 1 arc-sec

● 定位精度：±2 arc-sec

ARA1000空氣軸承精密直驅轉臺 | ARA1000 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ARA1000精密氣浮轉臺

Aerotech 的 ARA1000 旋轉執行器代表了顯著的突破性應用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯接方式。高負載慣量多軸系統可能遭受機械不穩定，限制整機生產效率。ARA1000 通過設計，顯著提高了平臺剛性，消除了這個問題。ARA1000轉臺采用了標準的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過真空線路。臺面包括一個標準的安裝模式，其允許非常容易地進行卡盤安裝。

Stage | ARA1000精密氣浮轉臺

Aerotech 的 ARA1000 旋轉執行器代表了顯著的突破性應用，如平板顯示器處理加工所要求的大型有效載荷的聯接方式。高負載慣量多軸系統可能遭受機械不穩定，限制整機生產效率。ARA1000 通過設計，顯著提高了平臺剛性，消除了這個問題。ARA1000轉臺采用了標準的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿過真空線路。臺面包括一個標準的安裝模式，其允許非常容易地進行卡盤安裝。

特點規格

● 高承載能力

● 高剛性

● 直接驅動無刷無槽伺服電機

● 大孔徑

● 與AVL1000升降平臺輕松配置多軸應用

ABRS旋轉氣浮平臺

1專為高精密檢測，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計

2無刷無槽伺服電機直接驅動

3突出的速度穩定性（電機無接頭效應）

4*的運動性能,誤差小,無抖動

5直聯高精度旋轉編碼器

6扁平結構設計

7無機械接觸

臺面直徑128.1-278.1mm

分辨率0.18-0.036arcsec

雙向重復定位精度<1arcsec

ABRT旋轉氣浮平臺

1專為高精密檢測，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計

2無刷無槽伺服電機直接驅動，高扭拒輸出

3突出的速度穩定性（電機無接頭效應）

4*的運動性能,誤差小,無抖動

5直聯高精度旋轉編碼器

6超大的空心軸徑，無機械接觸

臺面直徑100-200mm

分辨率0.055-0.027arcsec

雙向重復定位精度<1arcsec