PDC200/210/510
等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
RIE模式標(biāo)配(DP切換為選購)等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面。
等離子清洗機(jī)用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理
| 型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 模式 | RIE模式（DP選配） | DP/RIE切換方式 | |
| 電極制造 | 平行平板電極（固定） | ||
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制方式 | 自動(dòng)聯(lián)動(dòng)液晶觸摸屏控制 | ||
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar/02) | ||
| 充填氣體 | N2/潔凈干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 另行選配 | 油回旋真空泵（排氣量345L/min） | 油回旋真空泵（排氣量500L/min） |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2套、填充氣體1套 | ||
| 高頻輸出功率 | Max.300W | Max.500W | Max.500W |
| 溫度設(shè)定方式 | 用上下鍵進(jìn)行數(shù)碼設(shè)定 | ||
| 反應(yīng)室尺寸（mm） | 400×250×150 | 400×250×150 | 500×300×200 |
| 電極尺寸（mm） | 250×170 | 250×170 | 400×200 |
| 外形尺寸（mm） | 540×600×600 | 540×600×600 | 700×700×700 |
| 電源(50/60Hz) | 單相AC100V 15A | 3相AC200V 15A | 3相AC200V 15A |
