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  • 半導(dǎo)體檢查顯微鏡            MX63/MX63L

半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX63/MX63L

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-16
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量132
  • 人氣值1196
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上海西努光學(xué)科技有限公司,以下簡稱西努光學(xué)。西努光學(xué)成立于2003年,始終致力于“以光學(xué)為核心,為用戶提供檢測解決方案”為方針,推動(dòng)智能檢測裝備的轉(zhuǎn)型升級(jí),將顯微光學(xué)成像以及圖像算法應(yīng)用于檢測技術(shù)的科技創(chuàng)新公司。 公司專注服務(wù)于工業(yè)領(lǐng)域客戶,通過顯微光學(xué)成像、圖像算法及實(shí)驗(yàn)方案應(yīng)用技術(shù)和產(chǎn)品幫助工業(yè)企業(yè)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、智能化檢測發(fā)展。公司主要為用戶提供檢測技術(shù)方案及檢測裝備。產(chǎn)品功能涵蓋尺寸及缺陷檢測、智能制造、實(shí)驗(yàn)室理化解決方案等工業(yè)領(lǐng)域多個(gè)環(huán)節(jié)。 經(jīng)過十余年的深耕與積累,公司累計(jì)服務(wù)2000多家客戶,積累了大量的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),并確保了前沿的顯微光學(xué)與檢測實(shí)際場景的深度融合。公司主要客戶群體涵蓋了微電子行業(yè)、汽車零件行業(yè)、智能裝備等工業(yè)領(lǐng)域。 西努光學(xué)以科技創(chuàng)新為公司發(fā)展的原動(dòng)力,以顯微光學(xué)成像、圖像算法為核心技術(shù),緊密圍繞企業(yè)的檢測需求,通過持續(xù)科技創(chuàng)新,為用戶提供*的工業(yè)檢測設(shè)備及應(yīng)用方案。西努光學(xué) 誠信為您服務(wù) 專業(yè)為您服務(wù)基本價(jià)值觀:1、西努光學(xué)秉持“以光學(xué)為核心,為客戶提供解決方案”的經(jīng)營方針,致力于光學(xué)檢測與應(yīng)用水平的提升。2、西努光學(xué)以誠信、專業(yè)、服務(wù)為基本價(jià)值觀和追求,以實(shí)現(xiàn)客戶-西努、供應(yīng)商-西努光學(xué)、合作伙伴-西努、員工-西努雙贏為目標(biāo)。3、西努光學(xué)認(rèn)為員工是西努寶貴的財(cái)富,是構(gòu)成西努價(jià)值和競爭力的核心;西努光學(xué)將根據(jù)自身?xiàng)l件不遺余力地為員工職業(yè)發(fā)展、事業(yè)發(fā)展和家庭幸福做出*大努力。4、公平、公正、坦誠是西努人事制度的價(jià)值基礎(chǔ);友愛互助、團(tuán)隊(duì)協(xié)作是西努特別重視的品質(zhì);勤勉、敬業(yè)、精益求精是西努特別強(qiáng)調(diào)的職業(yè)精神。5、誠信守約是西努基本行為準(zhǔn)則。西努堅(jiān)決反對(duì)和抵制一切欺詐、不守信諾的行為;無論這種行為基于何種理由。6、可持續(xù)發(fā)展、效益穩(wěn)定增長、效率穩(wěn)步提升是西努戰(zhàn)略制定的基本準(zhǔn)則和依據(jù)。7、技術(shù)和服務(wù)是西努能夠成為光學(xué)解決方案提供商的關(guān)鍵,西努光學(xué)確保技術(shù)提升、客戶滿意度提升方面的投入能夠隨利潤的增長而增長。
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讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸高達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測
半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX63/MX63L 產(chǎn)品詳情

讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢


MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸高達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件,獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。




這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下,可以簡化從觀察到報(bào)告生成的整體工作流。


*的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像,讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。



從不可見到可見:MIX觀察與圖像采集

通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用,MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈,對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。


半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)


        集成電路圖形不夠清晰。                                           晶圓顏色不可見。                                         晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。 

半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物

            樣品本身不可見。                                                      殘留物不清晰。                                        集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。 


聚光鏡


表面受到反射。                                                     來自不同角度定向暗場的多幅圖像。                           將沒有光暈的清晰圖像拼接在一起,創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像。 



輕松生成全景圖像: 即時(shí)圖像拼接
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像,讓用戶獲得更寬的視場。

硬幣的即時(shí)MIA圖像



生成全聚焦圖像: EFI
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像,并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用,可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版(Desktop)離線情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊


利用HDR同時(shí)捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用*圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異,從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì),從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。


某些部位存在眩光。   暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HDR獲得清晰呈現(xiàn)。 TFT陣列因?yàn)V色片的亮度而漆黑一片。    TFT陣列利用HDR獲得呈現(xiàn)。


從基本測量到上等分析
測量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法,即便是入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單,并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外,奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下,圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下,操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。


基本測量(印刷電路板上的圖形)                            分散能力解決方案(PCB通孔的橫截面)                自動(dòng)測量解決方案(晶圓結(jié)構(gòu)) 



高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能,能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡單,報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中,通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。




獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)
利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī),MX63系列即可成為*的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制,在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。


相機(jī)控制盒



支持潔凈室合規(guī)性的*設(shè)計(jì)
MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì),并具有幫助很大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì),可幫助用戶在長時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。
選配晶圓搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)* 
選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上,實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。**的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測,同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))
* AL120 未在歐洲、中東、非洲地區(qū)(EMEA)銷售。

快速、清潔的檢測
MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi),顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全,縮短檢測間隔時(shí)間的同時(shí),讓操作人員的手始終保持在晶圓下方,避免了潛在的污染。

             防靜電呼吸防護(hù)罩                                                                    電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器  


系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效觀察

利用內(nèi)置離合和XY旋鈕,XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品,載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察
可調(diào)傾角觀察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。

                 帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄                                        可調(diào)傾角觀察鏡筒可確保舒適的工作姿態(tài) 


接受所有晶圓尺寸

晶圓支架和玻璃板

該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。

如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化,以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。

有了MX63系列,各種載物臺(tái)均可用于檢測75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。


**可定制
MX63系列設(shè)計(jì)用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇,以滿足其特定的圖像采集和分析需求。


兩個(gè)系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格
MX63系統(tǒng)能夠檢測尺寸達(dá)200毫米的晶圓,而MX63L系統(tǒng)能夠以與MX63系統(tǒng)相同的較小占用空間,檢查尺寸達(dá)到300毫米的晶圓。模塊化設(shè)計(jì)可讓根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡變得更加輕松。
      


                     MX63                                                                  MX63L 


紅外兼容性
紅外觀察可利用紅外物鏡透鏡實(shí)現(xiàn),該物鏡能夠通過透射紅外線的硅特性讓操作人員實(shí)現(xiàn)對(duì)封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行非破壞檢測。5X到100X紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。

      紅外物鏡透鏡                                                               原始圖像                                                               有色差




MX63 / MX63L半導(dǎo)體檢查顯微鏡規(guī)格:

 

MX63 MX63L
光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架 反射光照明
(FN 26.5)
白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組,手動(dòng)切換。(分光鏡為選配件。)
通過手動(dòng)操作更換3位置分光鏡編碼
內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌 (針對(duì)每個(gè)物鏡預(yù)設(shè), 暗場觀察時(shí)自動(dòng)全開) 觀察模式: 明場、暗場、微分干涉 (DIC)*1, 簡單偏振*1, 熒
光*1, 紅外*1 和MIX觀察 (4個(gè)定向暗場)
*1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置
透射光照明
(FN 26.5)
需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。
帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA
帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場光闌:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 導(dǎo)光:LG-SF
觀察模式: 明場, 簡單偏振
聚焦 行程:32毫米
每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100微米
*小分度:1微米
用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
*大負(fù)載重量(包括載物臺(tái)
和支架)
8 kg 15 kg
觀察筒 寬視場
(FN 22)
正像三目觀察筒:U-ETR4
正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2
倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察)
倒像雙目觀察筒:U-BI30-2
倒像傾斜式雙目觀察筒:U-TBI30
超寬視場
(FN 26.5)
正像傾斜式三目觀察筒:MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:99%) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR
(光程切換99% (目鏡) :0 (相機(jī)) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤

明場
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D6REMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-P5REMC
明場和暗場
六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤,帶DIC插槽:U-P5BDREMC

載物臺(tái) (X × Y)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305毫米
透射光照明區(qū)域:356 x 284毫米
重量 約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤) 約64公斤 (顯微鏡架44公斤)

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