用于材料分析的激光顯微鏡 |  |
保證測量準確度LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準確的測量數據。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數據。 · 有保證的測量準確度*· 奧林巴斯享譽世界的光學器件能夠以更低像差在整個視場中捕捉樣品的真實形貌 · 智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進行粗糙度測量 |  |
簡化材料工程與失效分析實驗管理 測試新材料時的實驗條件管理具有復雜性，OLS5100激光顯微鏡的智能實驗管理助手（Smart Experiment Manager）可通過關鍵步驟（如創建實驗計劃）自動化簡化這一過程。 · 掃描計劃隨數據采集自動生成 · 無需花費時間轉錄數據，軟件為您自動完成 *與OLS5000相比 |  |
| 自動數據輸入 軟件會自動將值添加到實驗計劃矩陣中，以盡可能減少輸入錯誤的可能。只需點擊幾下鼠標，就可以將實驗數據導出到Excel電子表格。 |
簡捷的實驗條件數據管理 通過點擊實驗計劃中的每個單元格，軟件即可自動生成包含評估條件的文件名，從而方便保存記錄。每個文件均包含相關聯的圖像和數據。 |
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| 數據采集 顯微鏡根據軟件生成的實驗計劃掃描樣品，不會讓您丟失數據或重復工作。 |
輕松發現問題彩色 圖譜可幫助您了解實驗數據并驗證是否存在數據丟失和錯誤。如果存在問題，您可以盡早發現并解決。 |
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| 選擇合適的物鏡 智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您為粗糙度測量應用選擇合適的物鏡只需選擇合適的物鏡，再點擊開始，智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）就會告訴您該物鏡的推薦程度。 |
輕松的數據采集經驗豐富的用戶和新手均可以利用Smart Scan II功能快速輕松獲取數據。將樣品放在載物臺上，按下“啟動”按鈕，顯微鏡即可自動完成其余操作。 |
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主機
| 型號 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
| 總倍率 | 54x–17,280x | ||||
| 視場 | 16 µm–5,120 µm | ||||
| 測量原理 | 光學系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 顏色 彩色DIC | |||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機 | ||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
| 動態范圍 | 16位 | ||||
| 重復性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | ||||
| 準確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） | ||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) | ||||
| 測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
| 重復性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm | ||||
| 準確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% | ||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]） | ||||
| 單次測量時*大測量點數量 | 4096 × 4096像素 | ||||
| *大測量點數量 | 3600萬像素 | ||||
| XY載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? |
| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | |
| 激光光源 | 波長 | 405 nm | |||
| *大輸出 | 0.95 mW | ||||
| 激光等級 | 2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
| 彩色光源 | 白光LED | ||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
| 質量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
| 控制箱 | 約 12 kg | ||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
*5 基于奧林巴斯認證系統下的保證。
