- 產品描述
RTF-PECVD-1200轉動式PECVD系統詳細介紹：
(1)、表面溫度高可達1420℃(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
OTL1200單溫區轉動管式爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。2、采用*成型。3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場4、采用4周加熱，溫場更加均衡
（全部通過UL認證的進口電器）
RTF-PECVD-1200轉動式PECVD系統產品型號規格：
型號 功率 爐管尺寸(mm) 外形尺寸 電源電壓 相數 RTF-PECVD-1200-60 3.5KW Dia60(OD)X1400mm 1300X420X1200 220V 單相 加熱元件：瑞典Kanthal A1 進口電阻絲 （電阻絲可承諾保修2年）控制方式：采用宇電程序控溫儀表（標配）可選配日本導電程序控溫儀表1、30段程序控溫智能PID調節。2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。5、儀表具有溫度自整定的功能
控溫模式：智能PID 斷偶保護和顯示:有 過溫保護:有 過流保護:有爐膛材料：1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。2、采用*成型。3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場控制精度：+/- 1 ℃觸發器：移相觸發電器：浙江正泰可控硅：106/16E 德國西門康溫度:1200 ℃額定溫度:1100 ℃升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據要求修改）推薦升溫速率:≤10℃/ Min熱電偶型號:K 型加熱段長度:400mm真空法蘭1、為了增加抽氣速率，達到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統接口皆為KF25）2、如用于供氣系統，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.轉動電機功率: 40W電動推桿功率:40W爐子傾斜角度: -10~30度爐管轉動速率 :采用無級變速電機 轉速可在1-25轉/min 之間可調轉動密封方式 : 采用轉動磁流體密封四周表面溫度:≤45℃射頻電源（等離子體發生器）
功率輸出范圍: 0-500W反射功率:10W信號頻率:13.56MHZ±0.005%噪聲:<30 dB.冷卻方式:空氣冷卻輸入電源:208-240V 50/60HZGX供氣系統主要參數
流量控制和檢測采用
D07-7C質量流量計標準量程：采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）工作壓力：3MP準確度：±1.5%氣壓降：<0.01MPa重復精度：±0.2% F.S路數：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭系統工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa工作溫度：5-45℃壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格靜態混氣室： Dia50 X 400MM接口： Dia6 1/4”VS-0.1抽氣系統
電源：220V尺寸：600X600X600波紋管：KF25X1000mm用該系統抽爐管真空度可達：10 -1Pa真空擋板閥：KF25VRD-8真空泵(方案一)
型號：VRD-8極限分壓強：5X10-2 Pa進排氣接口：KF25電機轉速:1440RPM抽氣速率:2.2L/S電機功率:0.4KW無油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
型號 ACP15電源 100-240V 50/60HZ極限分壓強 0.02 Torr進、排氣接口 KF25重量 25KG氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s抽氣速率 14 m3/h功率 450W電阻真空計
型號:ZDR-1功率:25W真空度測量范圍:0.1-10 5 Pa電阻硅:ZJ-52T瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（選購）
型號:PCG554輸入電壓:24V 1A DC（配有220V變壓器）真空計接口:KF16數字顯示:數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr產品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)重量:5 lbs檢測氣體:可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。是否防腐:防腐響應時間:≤30ms測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr.GX供氣系統主要參數
