大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用。可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
特點(diǎn)說(shuō)明
1.采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2.拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3.采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
4. WF10X（Φ25）超大視野目鏡，長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
技術(shù)規(guī)格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm） |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作 距離明暗場(chǎng)物鏡：5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) |
平臺(tái)尺寸: 350mm×310mm | |
移動(dòng)范圍：250mm×250mm，10寸 | |
濾色片 | 插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性） |
調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm |
光源 | 落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié) |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)量軟件 |
可供附件 | 目鏡：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
二維測(cè)量軟件和300萬(wàn)、500萬(wàn)像素顯微相機(jī) | |
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
DIC（10×、20×、40×、100×） | |
