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  • 美國Gaertner橢偏儀膜厚測量儀Ellipsometer

美國Gaertner橢偏儀膜厚測量儀Ellipsometer

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-08-02
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量230
  • 人氣值743
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深圳市科時達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過十年的發(fā)展,已經(jīng)成長為一家專注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。科技創(chuàng)新是科時達(dá)公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊,建立了國內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時,公司擁有電子信息領(lǐng)域相對完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國家、國民經(jīng)濟(jì)命脈和國計民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高校科研領(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動以“科時達(dá)基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)。科時達(dá)公司是一家,多年來公司研發(fā)團(tuán)隊致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國內(nèi)外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國內(nèi)外市場的一致認(rèn)可;公司營銷網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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Gaertner LSE-2A2W 進(jìn)口橢偏儀。
美國Gaertner橢偏儀膜厚測量儀Ellipsometer 產(chǎn)品詳情

Gaertner LSE-2A2W 進(jìn)口橢偏儀

美國Gaertner橢偏儀膜厚測量儀Ellipsometer(圖1)

LSE-2A2W Ellipsometer specifications

Alignment:

Tilt and table height using computer alignment screen.

Incidence Angles:

fixed at  60° for 544nm laser and 70°  for 633nm   laser

Method of Measurement:

Advanced StokesMeter determines the complete measuring beam   polarization using no moving parts and no modulators, only 4 stationary   silicon detectors so measurements are stable and exact.

Measurement Time:

Partically instantanious

Measuring Laser:

544 & 633 nm HeNe Gas Lasers with 1 mm measuring beam diameter

Alignment Laser:

670nm Laser Diode

Sample (Wafer) Size:

300    mm wide X unlimited length

Stage:

Hand positioning with tilt and table height adjustment.

Software:

Windows LGEMP4   layer absorbing included.

Required Computer:

(not included) Windows  PC or laptop with USB port

Film Thickness Range:

0 - 60,000 Angstroms on substrate or on 1, 2, 3, or 4 known   sublayers.

Precision, Repeatability:

Sub-Angstrom over most of the measurement range.

Refractive Index:

± .001 over most of the measurement range.

Power:

Supplied by computer USB bus and laser power supplies.

Dimensions:

Height:  16.5   Width: 27.5   Depth: 16   inches
  Net Weight: 45 lbs.    Shipping Weight: 65 lbs.

CDRH Compliance:

All laser ellipsometers supplied by Gaertner comply with CDRH   requirements 21CFR 1040 for a Class II laser product emitting less than 1 mW   or Class IIIb less than 5 mW of low power radiation. As with any bright   source such as the sun or arc lamp, the operator should not stare directly   into the laser beam or into its reflection from highly reflecting surfaces.

CE Compliance:

Comply with European safety directives and carry the CE mark.




Model LSE Ellipsometer


Manufactured by Gaertner Scientific, USA


Stokes Ellipsometer LSE Description
The Stokes Ellipsometer LSE is a continuation of an entirely new line of ellipsometers based on the advanced StokesMeter technology - winner of Photonics Spectra and R&D 100 best new products awards.
The LSE model ellipsometer includes data acquisition and analysis software.  An optional Windows based computer with PCI interface is available.
This ellipsometer uses patented StokesMeter technology with no moving parts and no modulators to quickly and accurately determine the complete polarization state of the 6328Å laser measuring beam at a 70° incidence angle. The space-saving design features a small footprint yet it can accommodate large samples up to 300mm wide. The sample stage can be easily moved by hand to measure any point on the sample surface. The sample table includes a manual tilt and table height adjustment which is set using an alignment screen on the computer.
The data acquisition and analysis software, LGEMP, can measure the top layer film thickness and film refractive index on a substrate or on 1, 2, or 3 known bottom layers. The films can be transparent or absorbing. This durable integration of hardware and software is fast and easy to use.
Extremely precise, stable and low cost the model LSE Stokes Ellipsometer represents an excellent value in a basic ellipsometer.
Description of Stokesmeter Technology
This patented device uses no moving parts and no modulators to quickly and accurately determine the complete polarization state of the measuring beam.


The diagram above shows the StokesMeter photopolarimeter for the simultaneous measurement of all four Stokes parameters of light. The light beam, the state of polarization of which is to be determined, strikes, at oblique angles of incidence, three photodetector surfaces in succession, each of which is partially spectrally reflecting and each of which generates an electrical signal proportional to the fraction of the radiation it absorbs. A fourth photodetector is substantially totally light absorptive and detects the remainder of the light. The four outputs thus developed form a 4x1 signal vector I which is linearly related, I=AS, to the input Stokes vector S. Consequently, S is obtained by S=A(-1)I. The 4x4 instrument matrix A must be nonsingular, which requires that the planes of incidence for the first three detector surfaces are all different. For a given arrangement of four detectors, A can either be computed or determined by calibration.
Technological Advantage
The clean, compact StokesMeter replaces a typical rotating analyzer assembly consisting of a drum, prism, encoders, switches, motor and detector and their associated electronics. In addition, the waveplate mechanism on the polarizer arm, is eliminated. This results in a fast, precise, stable no moving parts ellipsometer.
An outstanding feature is the Stokes Ellipsometer's compensation for small changes in angular beam deviation caused by sample out-of-flatness. This permits fast, uninterrupted measurement over the entire wafer surface without the need to pause to correct for focus and tilt. When scanning similar samples, tilt-free, focus-free operation is the obvious benefit.

關(guān)鍵詞:橢偏儀
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