NRE-3500型RIE-PE刻蝕機概述：獨立式RIE刻蝕PE刻蝕一體機，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設計，并且根據配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統系統可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調諧器提供。系統將持續監控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關重要。
NRE-3500型RIE-PE刻蝕機是基于PC控制的全自動系統.系統真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數字形式實時顯示.系統提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執行程序模式(操作模式)運行系統。基于全自動的控制，該系統具有高度的可重復性。
NRE-3500型產品特點：
鋁質腔體或不銹鋼腔體
支持各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種刻蝕模式
不銹鋼立柜
能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
典型的硅刻蝕速率，400 ?/min
高達12"的陽極氧化鋁RF樣品臺
水冷及加熱的RF樣品臺
大的自偏壓
淋浴頭氣流分布
極限真空5x10-7Torr，20分鐘內可以達到10-6Torr級別
渦輪分子泵
至多支持5個MFC
無繞曲氣體管路
自動下游壓力控制
雙刻蝕能力：RIE以及PE刻蝕(可選)
終點監測
氣動升降頂蓋
手動上下載片
基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
菜單驅動，4級密碼訪問保護
*的安全聯鎖
可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺，用于深硅刻蝕
NRE-3500型產品型號：
NRE-4000：基于PC計算機全自動控制的獨立式系統，占地面積26“D x 44"W
NRE-3500：基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統，占地面積26“D x 26"W
NRE-3000：基于PC計算機全自動控制的臺式系統，占地面積26“D x 26"W
NRP-4000：RIE/PECVD雙系統
NDR-4000：深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統
