製品概要
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，運(yùn)行成本更低。 EPX180 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
EPX LE 系列的泵具有一個(gè)終用戶(hù)控制器 (EUC)。 通過(guò)終用戶(hù)控制器可以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立使用的本地控制，并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。
EPX LE 系列的泵具有一個(gè)終用戶(hù)控制器 (EUC)。 通過(guò)終用戶(hù)控制器可以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立使用的本地控制，并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。
應(yīng)用
- EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。
EPX“LE”系列的設(shè)計(jì)旨在用于清潔工作應(yīng)用泵送惰性氣體混合物（如負(fù)荷鎖定），通過(guò)制程機(jī)臺(tái)接口提供控制。
功能和優(yōu)勢(shì)
- 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
- 低運(yùn)行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
- 的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
- 清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
- – EPX 基于經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。
- 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶(hù)控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。
數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到標(biāo)稱(chēng)性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | 無(wú) |
| 重量 | 43.5 kg |
