重慶半導體晶圓測試氣體質量流量控制器使用 CODA 科里奧利質量流量計和控制器在條件下進行高精度測量和控制。 CODA 儀表與各種液體和氣體(包括許多腐蝕性物質)兼容,即使在高達 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速的工況時,也能為您提供高精確度測量和控制。
高精度科里奧利質量流量控制器
CODA KC 系列科里奧利質量流量控制器,即使流體成分發生變化或未知時,壓力高達 4,000 PSIA (275 bar) 時也能測量氣體或液體流量,精度可達讀數的 ±0.2%。
規格和定制選項
組成和選項
通訊協議:模擬、RS-232、RS-485、Modbus RTU
接液材料:
標準:316L不銹鋼和FKM
可選:FFKM、EPDM、PCTFE、316L不銹鋼金屬密封件;鎳合金
防護等級:IP40/65/66/67