1.高耐壓,達1MPa
2.流量基準國家計量系統(tǒng)可溯源
3.手持式含大容量電池,續(xù)航達2個月/每次充電
4.高精度流量測量,達2%RD+0.5%FS
5.高分辨率和極精細微調(diào),達0.01SCCM
6.提供RS323接口,方便進行數(shù)據(jù)采集
7.提供線性化模擬量輸出接口0.25V~4.25V
8.流量范圍支持從0-5SCCM 到0-50SCCM(標準量程0-20SCCM)*2
9.優(yōu)良的壓力-流量特性,約1kPa/1.25SCCM,16kPa壓力時可達20SCCM
FM系列可調(diào)漏孔,