微型單溫區CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備，該設備在常規產品上進行了一系列的改進，包括：供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。
產品特點
- 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；
- 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，節約能源；
- 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。
技術參數
項目 | 型號 | TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440 |
爐管尺寸 | Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可選） | |
可達溫度 | 1200℃（短期） | |
工作溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
加熱區長度 | 440mm | |
額定功率 | 3kW | |
適配電源 | AC220V 50Hz | |
溫控系統 | K型熱電偶 集成式觸摸屏控制 | |
控溫精度 | ±1 ℃ | |
密封系統 | 爐管兩端配有快開式密封法蘭 | |
外形尺寸 | 620*420*580mm | |
氣體量程 | 100～1000SCCM | |
氣路數量 | 2～4路（MFC） | |
氣路工作溫度 | 5～45℃ | |
VRD-8 | 承載量：1000Lbs；抽氣速率:10m³/h 極限真空度：10-1Pa | |
真空度 | ||
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
