主要用于半導(dǎo)體硅晶片（Silicon Wafer）檢測(cè)、液晶屏（LCD）檢測(cè)、導(dǎo)電粒子（Conductive Particles）檢查，實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域研究，可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉及偏光觀察。
性能特點(diǎn)：
★ | 系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差、長工作距、明暗場(chǎng)兩用物鏡，成像清晰、像面平坦 |
★ | 配備反射式柯拉照明系統(tǒng)，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明 |
★ | 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性 |
★ | 配備了6"帶離合器機(jī)械平臺(tái)，行程158*158mm，可快速移動(dòng) |
★ | 人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡臂，"Y"型底座，調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制，粗微調(diào)同軸 |
★ | 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù)，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
★ | 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等附件，拓展應(yīng)用領(lǐng)域 |
HN-MXD主要技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差，長工作距金相物鏡（明暗場(chǎng)兩用），5X、10X、20X、50X、80X |
目鏡 | 高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡，PL10X，線視場(chǎng)φ22mm |
觀察筒 | 正像，鉸鏈?zhǔn)饺浚?5°傾斜，分光比：雙目99%，三目99% |
照明系統(tǒng) | 反射式柯拉照明，明暗場(chǎng)切換，帶簡易偏光接口，12V/100W鹵素?zé)簦A(yù)置中心 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)同軸，帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置 |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器 |
載物臺(tái) | 6英寸矩形，機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)200mmX200mm，移動(dòng)行程：158mmX158mm |
機(jī)架 | 全新的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，高剛性鏡臂，"Y"型底座，前置式操作控制 |
選購附件 | 攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等 |
觀察筒 | 正像觀察筒，物的移動(dòng)與像的移動(dòng)方向一致，不會(huì)出現(xiàn)使用倒像觀察筒時(shí)物像方向相反而產(chǎn)生的錯(cuò)覺。避免操作失誤，提高工作效率。 |
粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 1、采用新型導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，粗微動(dòng)同軸 |
機(jī)械移動(dòng)載物臺(tái) | 1、雙層機(jī)械移動(dòng)式，帶離合器控制手柄，可快速移動(dòng) |
照明系統(tǒng) | 1、12V/100W鹵素?zé)簦A(yù)置中心 |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器 |
偏光裝置 | 1、選擇簡易偏光附件可以實(shí)現(xiàn)偏光觀察 |
