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激光分子束外延鍍膜系統

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激光分子束外延鍍膜系統 產品詳情

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  這個組合膜沉積的概念,是由于使用分離的基底、小區域的掩模和每個樣品不同的生長參數導致的沉積條件的系統變化。最顯著的貢獻就是可以快速地篩選生長條件。

 

·精準層蔽控制原子

·層外延膜結構或形態

·均勻或梯度的快速

·振蕩信號需依成膜條件和成膜品質

·專業LabView提供全自動制程數字控制

·9項日本、3個國際

 

·激光加熱:            溫度 >1000)

·高壓可操作:          ~133Pa

·6種靶材的公轉和自轉

·鍍膜腔真空度:        ~5e-9Torr

·Load-Lock腔:         ~5e-7 Torr 可放置兩個樣品以及四個靶材

·全自動數字控制

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