功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標準 RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網）
- 設有“Quick Setup”（快速設定）菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易于設定和操作
- 用于開發、測試和下載過程的 Windows® 程序，以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數，測量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監控源材料，提供精確的源分布監控
功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標準 RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網）
- 設有“Quick Setup”（快速設定）菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易于設定和操作
- 用于開發、測試和下載過程的 Windows® 程序，以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數，測量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監控源材料，提供精確的源分布監控
規格
| 類型 | SQC-310 | |
|---|---|---|
| 測量 | ||
| QCM 輸入 | 2 (4 optional) | |
| 頻率范圍 | 4 to 6 MHz | |
| 頻率分辨率 | ± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period | |
| 厚度分辨率（密度 = 1，z 比值 = 1） | 0.0368 Å | |
| 頻率穩定性 | ± 2 ppm total, 0 to 50C | |
| 測量速率 | 1 to 10 Hz | |
| 速率顯示 | 0.01 Å/sec | |
| 控制 | ||
| 存儲 | 100 processes, 1000 layers, 50 films | |
| 控制輸出 | 2 (4 optional) | |
| 輸出信號 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | |
| 數字輸入/繼電器 | 8 (16 optional) | |
| 數字輸入 | 5 VDC non-isolated | |
| 繼電器 | SPST Form 1A, 30V, 2A max | |
| 接口 | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | |
| 遠程電源控制 | Optional (IPN 782-900-017) | |
| 顯示器 | ||
| 類型 | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | |
| 圖表 | Rate, deviation, power or full screen numeric | |
| 一般 | ||
| 功率 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W | |
| 合規性 | CE, RoHS | |
| Windows® 軟件 | Included | |
| 殼體/安裝 | 5 1/4” half-rack | |
