HORIBA STEC SEC-E40V MK3 SEC-E50VMK3 SEC-E441 SEC-E443質量流量控制器
這種通用質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件,SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。
通過質量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內:10 SCCM 至 200 SLM
配備可靠的熱傳感器和電磁閥
流量控制范圍廣:10 SCCM 至 200 SLM (N2)
應用廣泛
可集成至各種制造系統,包括:液晶顯示器、光伏電池、功率半導體、鍍膜
一般工業:燃燒器氣體控制;大氣氣體控制;混合氣體生產;換氣量測量
研發:各種氣體傳感器和燃燒室性能評估設備;生物技術相關評價
實驗室:用于各種實驗、氣體取樣的氣流控制器