應(yīng)用及案例
● 低溫容器檢測(cè)
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測(cè)
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 汽車制造
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%
● 可測(cè)范圍廣，0.01~99%
● 滿量程超低壓損為360Pa
● 閥門響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
精度升級(jí)
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差
性能指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測(cè)量和控制范圍 0.01～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 % 滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開(kāi)關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）見(jiàn)上段精度升級(jí)部分
±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質(zhì)量流量溫度漂移 0.03%滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃
質(zhì)量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 s
標(biāo)定工況 25 ℃ & 1Atm（可現(xiàn)場(chǎng)在測(cè)量范圍內(nèi)隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
工作壓力 0.3 MPa表壓，進(jìn)出口允許瞬時(shí)壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ± 0.5 %讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、 鋁
過(guò)程連接 詳情參考?jí)簱p表
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢
選項(xiàng)配件
待更新。
安裝手冊(cè)
待更新。
機(jī)構(gòu)認(rèn)證
待更新。
尺寸詳圖
尺寸壓損
滿量程質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中 | 外觀尺寸 | 連接接口2 |
0.5 sccm - 2 sccm | 0.06 | 3.9''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）內(nèi)螺紋 （含M-5 （10-32） 外螺紋Buna-N O型密封圈 至1/8'' NPT內(nèi)螺紋） |
5 sccm - 10 sccm | 0.08 | ||
20 sccm | 0.07 | ||
50 sccm - 200 sccm | 0.07 | 4.1''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 |
500 sccm | 0.08 | ||
1 slpm | 0.10 | ||
2 slpm | 0.18 | ||
5 slpm | 0.10 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 |
10 slpm | 0.12 | ||
20 slpm | 0.26 | ||
40 slpm | 0.14 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
50 slpm | 0.17 | 5.5''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
100 slpm | 0.30 | ||
250 slpm | 0.69 | ||
500 slpm | 0.69 | 5.5''H x 8.1''W x 2.7''D | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
1000 slpm | 1.65 | 6.3''H x 9.8''W x 4.5''D | 2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
1、公制當(dāng)量見(jiàn)圖紙。 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 | |||
產(chǎn)品大圖
