概要
質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。
- 適用于高溫：可滿足150℃烘焙
- 產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
- 超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
- MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格
| SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載 | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8440LSL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8450LSL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8455LSL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8460LSL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
| SEC-8440LSM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8450LSM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8455LSM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8460LSM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
| SEC-8440LSH | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8450LSH | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8455LSH | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8460LSH | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
| SEC-8440SL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8450SL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8455SL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8460SL | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
| SEC-8440SM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8450SM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 3/5/10 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8455SM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
| SEC-8460SM | |
| 氣體接觸部材質 | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標準流量量程 | 20/30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
