OPH-F系列真蜂窩氣浮隔振光學平臺是我司隔振平臺系列中隔振的科研級氣浮隔振光學平臺，主要應用于高分辨顯微成像、精密光學測量、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等對振動有非常高要求的儀器設備等。整套隔振系統分為臺面、氣浮支架、氣泵三部分。臺面采用桁架式蜂窩芯設計，每個蜂窩單元都使用三重芯板接觸面，確保了較高的剛度和較大的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積，極大提高了整體平臺的粘接強度和性能；每個螺紋孔下面都有一個隔離杯，便于用戶取回小零件或小樣品，同時也起到防水防塵等作用。上臺面材料選用SUS430高導磁不銹鋼，具有很好的耐腐蝕性能。氣浮式支架采用隔振效果良好的膜式空氣彈簧，支撐腿內部采用二級氣室隔離，高阻尼小孔，隔振性能良好，穩定輕松調節，結構穩定可靠。自動平衡，自動充氣全部氣動執行元件采用進口產品。

技術參數：

· 水平方式：自動充氣，自動平衡

· 固有頻率：1～1.8Hz

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重復定位精度：±0.10mm

· 臺面材料：SUS430（1Cr17）高導磁不銹鋼，不易生銹

· 臺面內部結構：桁架式蜂窩芯結構，蜂窩芯密度：≥250kg/m³

· 臺面厚度：100/200/250mm

· 平面度：0.05~0.1mm/m²

· 臺面粗糙度：0.8~1.5μm

· 氣浮支架：雙層氣室，3個進口真空管水平調節閥，高穩定四或六支撐腿；

每個氣浮腿上面都配有氣囊裝置限位保護器，延長氣囊使用壽命

· 無油*氣泵：噪音＜46db，0.2-0.4MPa

· 總高度~800mm，總高度可調范圍：~±20mm

· 孔間距：25mm（機械打孔）

· 孔徑：M6螺紋孔

細節圖：

進口水平調節機構 臺面真蜂窩結構 氣囊限位/保護裝置 滑動腳輪

側面圖：

選型表：

部分客戶案例：

松山湖材料實驗室（規格：4500*1500*800mm）

上海微系統所（規格：2000*1200*800mm）