基恩士VR-3200 3D輪廓測量儀 測量范圍是以往的5倍從產品整體的形狀測量乃至粗糙度測量，無論是大范圍還是細微部位，均可由1臺設備完成測量。 3D-CAD比較測量功能可比較測量成品與設計之間的差異，并對測量數據進行CAD輸出。 |
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型號 | VR-3200 | |||
類型 | 工作頭 | |||
適用控制器 | VR-3000K | |||
觀察測量范圍 | 大視野模式 | 15 英寸顯示器上的倍率 12x | 橫(H) | 24mm |
縱(V) | 18mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 25x | 橫(H) | 12mm | ||
縱(V) | 9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 38x | 橫(H) | 8mm | ||
縱(V) | 6mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 50x | 橫(H) | |||
縱(V) | 4.5mm | |||
高倍率模式 | 15 英寸顯示器上的倍率 40x | 橫(H) | 7.6mm | |
縱(V) | 5.7mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 80x | 橫(H) | 3.8mm | ||
縱(V) | 2.9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 120x | 橫(H) | 2.5mm | ||
縱(V) | 1.9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 160x | 橫(H) | |||
縱(V) | 1.4mm | |||
變焦 | 1 至 4 倍 | |||
可測量高度 | 大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 | |||
顯示分辨率 | 0.1 µm*2 | |||
重復精度(б) | 高度測量 | 0.5µm*3 | ||
寬度測量 | 大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 | |||
測量精度 | 高度測量 | ±3 µm*3 | ||
寬度測量 | 大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 | |||
連接功能 | 全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)測量*4 | |||
載物臺 | XY 行程 | 184 × 88 mm(電動) | ||
Z 行程 | 90 mm(電動) | |||
旋轉構造 | ±180°（試料旋轉載物臺） | |||
傾斜構造 | ±30° 以上 | |||
操作距離 | 75 mm | |||
圖像接收元件 | 1 英寸 400 萬像素單色 C-MOS | |||
投光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 x2 | |||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | |||
照明系統 | 觀察用光源 | LED 環形照明(紅、綠、藍) | ||
測量用光源 | 白色 LED | |||
圖像尺寸 | 1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix | |||
數據處理部 | 基恩士專用 PC(OS 為 Windows7)*5 | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
功率消耗 | 150 VA | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +15 至 +30 °C | ||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
重量 | 28.0 kg | |||
型號 | VR-3200 | |||
類型 | 工作頭 | |||
適用控制器 | VR-3000K | |||
觀察測量范圍 | 大視野模式 | 15 英寸顯示器上的倍率 12x | 橫(H) | 24mm |
縱(V) | 18mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 25x | 橫(H) | 12mm | ||
縱(V) | 9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 38x | 橫(H) | 8mm | ||
縱(V) | 6mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 50x | 橫(H) | |||
縱(V) | 4.5mm | |||
高倍率模式 | 15 英寸顯示器上的倍率 40x | 橫(H) | 7.6mm | |
縱(V) | 5.7mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 80x | 橫(H) | 3.8mm | ||
縱(V) | 2.9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 120x | 橫(H) | 2.5mm | ||
縱(V) | 1.9mm | |||
15 英寸顯示器上的倍率 160x | 橫(H) | |||
縱(V) | 1.4mm | |||
變焦 | 1 至 4 倍 | |||
可測量高度 | 大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 | |||
顯示分辨率 | 0.1 µm*2 | |||
重復精度(б) | 高度測量 | 0.5µm*3 | ||
寬度測量 | 大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 | |||
測量精度 | 高度測量 | ±3 µm*3 | ||
寬度測量 | 大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 | |||
連接功能 | 全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)測量*4 | |||
載物臺 | XY 行程 | 184 × 88 mm(電動) | ||
Z 行程 | 90 mm(電動) | |||
旋轉構造 | ±180°（試料旋轉載物臺） | |||
傾斜構造 | ±30° 以上 | |||
操作距離 | 75 mm | |||
圖像接收元件 | 1 英寸 400 萬像素單色 C-MOS | |||
投光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 x2 | |||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | |||
照明系統 | 觀察用光源 | LED 環形照明(紅、綠、藍) | ||
測量用光源 | 白色 LED | |||
圖像尺寸 | 1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix | |||
數據處理部 | 基恩士專用 PC(OS 為 Windows7)*5 | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
功率消耗 | 150 VA | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +15 至 +30 °C | ||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
重量 | 28.0 kg | |||
