- 概述
- 規格
- 零件號
- 附件
- 耗材
- 下載
功能
- 兩個標準測量通道，另外四個可選
- 模擬輸出便于記錄速率/厚度
- 高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數/秒
- RS-232 標準接口，可選擇連接 USB 或以太網
規格
| 類型 | SQM-160 Standard Resolution | SQM-160 High Resolution | |
|---|---|---|---|
| QCM 傳感器輸入 | Standard: 2; optional: 4 | Standard: 2; optional: 4 | |
| 測量頻率范圍 | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum | |
| 頻率分辨率 (1) | ± 0.30 Hz | ± 0.03 Hz | |
| 厚度和速率分辨率/測量 (2) | ± 0.37 ? | ± 0.037 ? | |
| 測量周期 | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | 0.10 to 2.0 s (adjustable) | |
| 測量過濾器 | 1 to 20 readings | 1 to 20 readings | |
| 存儲薄膜 | 99 | 99 | |
| 模擬輸出 | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | Two 0 to 5 VDC, rate & thickness | |
| 數字輸入/輸出 | Four inputs, four relay outputs | Four inputs, four relay outputs | |
| 通信接口 | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | Standard: RS-232; Optional: USB or Ethernet | |
| 功率 | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W | |
| CE 合規性 | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | Class 1 equipment, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD | |
| 殼體/安裝 | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") | |
| 重量 | 2.7 Kg (6 lbs) | 2.7 Kg (6 lbs) | |
| Windows 軟件（集成） | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. | Provides remote setup and operation, datalogging functions - see sample screenshot at right. | |
(1) 0.10 秒測量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 赫茲，0.10 秒測量間隔
(2) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 赫茲，0.10 秒測量間隔
附件
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| 前裝式單傳感器 | 前裝式單傳感器 |
| 前裝式雙傳感器 | 前裝式雙傳感器 |
| 炫酷抽屜單傳感器 | 炫酷抽屜單傳感器 |
| 炫酷抽屜雙傳感器 | 炫酷抽屜雙傳感器 |
| 薄型雙傳感器 | 薄型雙傳感器 |
| UHV 可烘烤傳感器 | UHV 可烘烤傳感器 |
| 濺射傳感器 | 濺射傳感器 |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| 零件號 | 明細 |
|---|---|
| 782-900-008 | 用于一臺 SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機架安裝套件 |
| 782-900-014 | 用于兩臺 SQM-160 或 CI-100 儀器的 19 in. 機架安裝套件 |
| 782-502-096-G1 | USB 擴展卡 |
| 782-502-097-G1 | 以太網擴展卡 |
| Oscillator kits | （包括振蕩器和電纜） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 3 米（10 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜 |
| Oscillator Only | （未隨附電纜） |
| 783-500-013 | 僅 OSC-100 振蕩器（無電纜） |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
耗材
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| 石英監控器晶體 | 石英監控器晶體 |
手冊
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
手冊
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Chinese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual (Japanese) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
目錄
- Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- 薄膜目錄 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
其他文件
- SQM-160 Comm Software V1.14 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- USB Installer v1.8.0 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
- SQM-160 LabVIEW™ example |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|
